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申请/专利权人：浙江大学杭州国际科创中心
摘要：本发明公开了一种基于热学超材料的MEMS气体传感器及其制备方法，属于传感器领域。本发明通过在气体传感器中引入热学超材料结构的设计，可以有效减少悬浮薄膜向周围的热传导，降低传感器的功耗。通过使用基于热学超材料的完整悬浮薄膜微热板取代传统的悬浮岛桥微热板结构，可有效降低器件加工的工艺难度并增加结构的稳定性，提高传感器在不同使用环境中的性能。完整悬浮薄膜的设计也可以提高器件流片过程中的良品率，降低传感器的生产成本。
主权项：1.一种基于热学超材料的MEMS气体传感器，其特征在于，包括：衬底；支撑层，位于所述衬底上；加热电极层，位于所述支撑层上，并图形化形成加热电极和加热电极的焊线区域；所述支撑层的范围大于所述加热电极，并且所述加热电极的焊线区域位于所述支撑层的表面；绝缘层，覆盖所述加热电极以及未被所述加热电极覆盖的所述支撑层；测试电极层，位于所述绝缘层上，并图形化形成测试电极和测试电极的焊线区域；所述绝缘层的范围大于所述测试电极，并且所述测试电极的焊线区域位于所述绝缘层的表面；隔热超材料结构区，形成环绕所述加热电极与测试电极所在区域，所述隔热超材料结构区由位于所述加热电极与测试电极所在工作区域外周的所述支撑层和绝缘层图案化加工所得；敏感材料层，位于所述测试电极上；所述衬底的底面具有空腔，所述空腔从底面暴露出所述支撑层，并且，所述空腔的范围为覆盖所述加热电极与测试电极所在工作区域并向外延伸包括所述隔热超材料结构区。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江大学杭州国际科创中心 一种基于热学超材料的MEMS气体传感器及其制备方法
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