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申请/专利权人：江苏理工学院
摘要：本申请实施例涉及一种纳米相变薄膜材料及其制备方法和应用，属于用于信息存储的相变材料技术领域。本申请实施例的纳米相变薄膜材料，该材料是由IS混合Sb金属后沉积在基层材料上，该材料的化学通式为[IS1‑xSbx]a；其中，x为Sb元素的比例，且0x≤1；a为薄膜总厚度。本申请实施例所提供的纳米相变薄膜材料具有良好的三态存储性能，能有效地提高存储密度，并且还具有热稳定性好、电阻漂移低、抗弯曲性能好等优势，能够很好的应用于相变存储器领域。
主权项：1.一种纳米相变薄膜材料，其特征在于，该材料是由IS混合Sb金属后沉积在基层材料上，该材料的化学通式为[IS1-xSbx]a；其中，x为Sb元素的比例，且0x≤1；a为薄膜总厚度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏理工学院 一种纳米相变薄膜材料及其制备方法和应用
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