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申请/专利权人：基迈克材料科技(苏州)有限公司
摘要：本发明公开了一种用于降低镀膜掉渣率的NiCr靶材表面处理方法，涉及溅射镀膜领域，旨在解决NiCr靶材镀膜掉渣率高的问题，其技术方案要点是：一种用于降低镀膜掉渣率的NiCr靶材表面处理方法，包括以下步骤：S1、靶材准备：准备表面未处理的NiCr靶材成品；S2、抛光处理：将上述靶材的溅射面与非溅射面的上下两面进行抛光处理；S3、遮护：将靶材的溅射区域部分进行遮护；S4、一次喷砂粗化：将所述靶材的溅射区进行第一次喷砂粗化处理；S5、二次喷砂粗化：将所述靶材的溅射区进行第二次喷砂粗化处理。本发明的一种用于降低镀膜掉渣率的NiCr靶材表面处理方法能够有效降低镀膜掉渣率。
主权项：1.一种用于降低镀膜掉渣率的NiCr靶材表面处理方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、靶材准备：准备表面未处理的NiCr靶材成品；S2、抛光处理：将上述靶材的溅射面与非溅射面的上下两面进行抛光处理；S3、遮护：将靶材的溅射区域部分进行遮护；S4、一次喷砂粗化：将所述靶材的溅射面进行第一次喷砂粗化处理；S5、二次喷砂粗化：将所述靶材的溅射面进行第二次喷砂粗化处理。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 基迈克材料科技(苏州)有限公司 一种用于降低镀膜掉渣率的NiCr靶材表面处理方法
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