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申请/专利权人：基迈克材料科技(苏州)有限公司
摘要：本发明公开了一种NiCr合金靶材制备方法，涉及溅射镀膜领域，旨在解决目前NiCr合金靶材制备复杂的问题，其技术方案要点是：S1：选用Ni锭和Cr锭作为原料，先制作Ni90Cr10中间合金锭；然后将Ni锭和中间合金锭加入熔炼设备中，浇铸制备NiCr合金锭；S2：将所述合金锭在热等静压设备下成型，得到NiCr合金热压锭；S3：将所述合金热压锭在挤压设备下成型，冷却后得到NiCr合金挤压毛坯板；S4：将所述NiCr合金挤压毛坯靶退火处理，退火温度为900～1100℃，保温时间为0.5～2h，冷却后得到NiCr合金毛坯靶；S5：将所述NiCr合金毛坯靶机加工后得到所需尺寸的NiCr平面靶材。本发明的一种NiCr合金靶材制备方法工序简单，晶粒均匀。
主权项：1.一种NiCr合金靶材制备方法，其特征在于，包括以下步骤：S1：选用纯度为99.99%Ni锭和纯度为99.99%Cr锭作为原料，按照原子质量份数，将90%的Ni锭、10%的Cr锭加入真空熔炼设备中，制备得到Ni90Cr10中间合金锭；然后将Ni锭和中间合金锭加入熔炼设备中，Ni锭和中间合金锭的混合比例为95%～99.9%的Ni锭、1～4.5%Ni90Cr10中间合金锭，熔炼温度为1400～1500℃，浇铸制备NiCr合金锭；S2：将所述合金锭在热等静压设备下成型，成型温度900～1200℃，压力150～250MPa，得到NiCr合金热压锭；S3：将所述合金热压锭在挤压设备下成型，挤压方式为正向挤压，热压锭的加热温度为900～1200℃，挤压温度为900～1200℃，冷却后得到NiCr合金挤压毛坯板；S4：将所述NiCr合金挤压毛坯板退火处理，退火温度为900～1100℃，保温时间为0.5～2h，冷却后得到NiCr合金毛坯靶；S5：将所述NiCr合金毛坯靶机加工后得到所需尺寸的NiCr平面靶材。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 基迈克材料科技(苏州)有限公司 一种NiCr合金靶材制备方法
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