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一种基于site分布的版图内容快速分析方法 

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申请/专利权人:北京深维科技有限公司

摘要:本发明公开了一种基于site分布矩阵的版图内容快速分析方法,通过将site映射成为一个像素,以实现去除冗余信息,仅保留有效信息目的,这样会大大减小需要对比的像素,因此会大幅提升检测速率;通过二维KMP算法,将待匹配图像中每个像素的状态转移关系提前记录下来,在匹配时,即可根据先验条件,快速跳过无需对比的位置,从而大幅提升检测速率。

主权项:1.一种基于site分布的版图内容快速分析方法,其特征在于,包括:对于待分析的GDSII文件,提取出所有衬底层上的BOUNDARY图素后,获得所有可以围成矩形的坐标,将坐标表示的矩形绘制在二维图像,每一个矩形则为一个site;将site包含的最小单元看作1个像素,构建一个与所述二维图像维度一致的矩阵S;当二维图像的某一个像素位置存在site,则在矩阵S对应位置的像素值置1,反之,当像素位置不存在site,则矩阵S对应位置的像素值置0;对于给定的模板文件,采用与待分析的GDSII文件上述相同处理方法,得到矩阵P,最后通过二维KMP算法在矩阵S中检索矩阵P的位置。

全文数据:

权利要求:

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