龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：山东有研半导体材料有限公司;有研半导体硅材料股份公司
摘要：本发明公开了一种用于消除半导体抛光片表面色斑的装置与方法，属于半导体材料加工领域。该装置具备：反应室、紫外光源组件、臭氧循环系统以及旋转机构；其中，反应室由上反射板、下反射板及反射腔室组成，上反射板和下反射板分别与反应腔室侧壁密封连接，在反射腔室侧壁的上部和下部分别通过气密阀经密封管路与臭氧循环系统连接；紫外光源组件包括设置在反应室内的紫外光源阵列以及控制照射光强度与时间的紫外光功率控制器；旋转机构包括花篮卡台、驱动电机、滚轴，所述滚轴设置在花篮卡台上，并与花篮内的抛光片的边缘摩擦接触；所述驱动电机驱动滚轴转动从而带动抛光片旋转。该方法通过紫外线阵列及臭氧循环去除抛光片表面的色斑。
主权项：1.一种用于消除半导体抛光片表面色斑的装置，其特征在于，该装置具备：反应室、紫外光源组件、臭氧循环系统以及旋转机构；其中，反应室由上反射板、下反射板及反射腔室组成，上反射板和下反射板分别与反应腔室侧壁密封连接，在反射腔室侧壁的上部和下部分别设有供臭氧循环系统连接的臭氧通气口，该些臭氧通气口通过气密阀经密封管路与臭氧循环系统连接；紫外光源组件包括紫外光源阵列以及紫外光功率控制器，所述紫外光源阵列设置在反应室内，位于花篮上方；所述紫外光功率控制器控制紫外光源阵列的照射光强度与照射时间；旋转机构包括花篮卡台、驱动电机、滚轴，所述滚轴设置在花篮卡台的中心线上，并与排列在花篮内的抛光片的边缘形成摩擦接触；所述驱动电机与滚轴连接，当驱动电机工作时带动滚轴转动，进而带动花篮中的抛光片旋转。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 山东有研半导体材料有限公司 有研半导体硅材料股份公司 一种用于消除半导体抛光片表面色斑的装置与方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号