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申请/专利权人：昕芙旎雅有限公司
摘要：本发明提供输送机器人以及EFEM。在使壳体内的非活性气体循环的类型的EFEM中，抑制成本的增加，并且抑制颗粒放出到输送室内。EFEM具有输送室和回归通路，构成为供氮循环，所述输送室供由用于去除颗粒的FFU净化后的氮沿预定方向流动，所述回归通路使氮自输送室的下游侧向FFU返回。EFEM具备输送机器人，所述输送机器人配置在输送室内，在保持有晶圆的状态下进行预定的动作。输送机器人具有：壳构件，其形成有开口；臂机构，其配置于壳构件的外侧，用于保持晶圆；支柱，其支承臂机构，并且贯穿于开口；以及驱动机构，其收纳于壳构件，用于驱动支柱，输送机器人设有将壳构件与所述回归通路连接的连接通路。
主权项：1.一种输送机器人，其特征在于，所述输送机器人包括：壳构件；臂构件，其以能够相对于所述壳构件回旋的方式设置；机器人手，其与所述臂构件的顶端连接，用于保持基板；供给通路，其用于使气体流入所述臂构件的内部空间；以及送出口，其设置于与所述臂构件的内部空间连通的所述壳构件的内部空间，用于对所述壳构件的内部空间或所述臂构件的内部空间进行排气。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 昕芙旎雅有限公司 输送机器人以及EFEM
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