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申请/专利权人：昕芙旎雅有限公司
摘要：在本发明中，在促进容纳室中用惰性气体置换的同时，也促进了容纳室中的颗粒的排出。该EFEM包括：装载端口4；其中形成有通过将装载端口4与设置在分隔壁上的开口连接而封闭的传送室的壳体；用于向传送室供应氮气的供应管；以及用于排出传送室中的气体的排出管49。装载端口4包括能够打开关闭放置的FOUP100的盖子101的打开关闭机构54，以及通过狭缝51b与传送室连通并且容纳打开关闭机构54的一部分的容纳室60。排出管49连接至容纳室60以经由容纳室60排出传送室中的气体。
主权项：1.一种EFEM，其包括：装载端口；壳体，其通过将所述装载端口连接至设置在所述壳体的侧壁上的开口而被封闭，并且被构造为在所述壳体中限定用于传送基板的传送室；基板传送装置，其设置在所述传送室中并被构造为传送所述基板；惰性气体供应单元，其被构造为将惰性气体供应到所述传送室；以及排气单元，其被构造为排出所述传送室中的气体，其中，所述装载端口包括：打开关闭机构，其能够打开和关闭所安装的容器的盖子；以及容纳室，其经由狭缝与所述传送室保持连通并被构造为容纳所述打开关闭机构的一部分，其中，所述排气单元连接至所述容纳室以经由所述狭缝和所述容纳室排出所述传送室中的气体，并且其中，所述容纳室设置有风扇，所述风扇被构造成将经由所述狭缝从所述传送室排放到所述容纳室的气体输送到所述排气单元。
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