龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：昕芙旎雅有限公司
摘要：在本发明的惰性气体循环型EFEM中，防止了对次要设备、维护门等的安装产生任何约束，并且消除了根据所连接的基板处理装置的规格等改变回流通路的放置位置等的需求。EFEM1设置有：在其中传送晶圆W的传送室41；安装有用于将氮气输送到传送室41的FUU44的单元安装室42；以及用于将流过传送室41的氮气送回到单元安装室42的回流通路43。基板处理装置6连接至传送室41的后侧端部。回流通路43设置在传送室41的前侧端部处。
主权项：1.一种EFEM，其包括：传送室，在其中传送基板；单元安装室，其中安装有被构造为将惰性气体输送到所述传送室的风扇过滤单元；以及回流通路，其被构造为使所述传送室中流动的所述惰性气体返回到所述单元安装室，其中，被构造为对所述基板执行预定处理的基板处理设备在预定的深度方向的一侧上连接至所述传送室的一个端部，并且所述回流通路在所述深度方向的另一侧上设置在所述传送室的另一个端部中，并且不在所述深度方向的所述一侧设置在所述一个端部中。
全文数据：
权利要求：
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号