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一种面向末端稳定性的冂字型长探针装置 

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申请/专利权人:浙江大学;南通市计量检定测试所

摘要:本发明公开了一种末端稳定性较好的冂字型长探针装置,包括依次连接的长探针组件、调整机构和延长板;所述探针组件、调整机构及延长板整体呈冂字型结构;所述长探针组件用于对被测件基于光纤白光干涉测量原理进行测量;所述调整机构通过调整长探针组件的位姿以达到微调探针出光方向的目的;所述延长板可调节高度,以适应不同高度的被测物体。本发明冂字型长探针装置特有的几何机构,使得长探针组件的末端摆动幅度减小,提高了末端稳定性,最终可提高测量精度。

主权项:1.一种面向末端稳定性的冂字型长探针装置,其特征在于,包括依次连接的长探针组件5、调整机构和延长板6;所述探针组件5、调整机构及延长板6呈冂字型结构;所述长探针组件5用于对被测物体基于光纤白光干涉测量原理进行测量;所述调整机构用于调整长探针组件5的位置;所述延长板6可调节高度,以适应不同高度的被测物体;其中,所述长探针组件5包括探针外壳和光学元器件;其中,所述探针外壳包括底座14及与其相连的且长度可调节的探针套筒15;所述光学元器件包括单模光纤跳线8、定焦准直器9、垫圈10、卡环11、窗口片12及离轴抛物面反射镜13;所述单模光线跳线8与定焦准直器9连接;所述底座14上设有截止台面,用于固定定焦准直器9,使定焦准直器9光束出射点与离轴抛物面反射镜13光束入射点之间的距离与定焦准直器9的焦距一致;所述离轴抛物面反射镜13固定于底座14上;所述卡环11将窗口片12压紧在垫圈10上,密封光学元器件;所述定焦准直器9用于实现光束的准直,使其对准波长与光源波长一致;其输出光束腰直径d根据下式估算: 其中,λ是所用光的波长,MFD是光纤模场直径,f是准直器的焦距;其发散角θc根据下式估算: 其中,MFD是光纤模场直径,f是准直器的焦距。

全文数据:

权利要求:

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