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一种末端稳定性较好的冂字型长探针装置 

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申请/专利权人:浙江大学;南通市计量检定测试所

摘要:本发明公开了一种末端稳定性较好的冂字型长探针装置,包括依次连接的长探针组件、调整机构和延长板;所述探针组件、调整机构及延长板整体呈冂字型结构;所述长探针组件用于对被测件基于光纤白光干涉测量原理进行测量;所述调整机构通过调整长探针组件的位姿以达到微调探针出光方向的目的;所述延长板可调节高度,以适应不同高度的被测物体。本发明冂字型长探针装置特有的几何机构,使得长探针组件的末端摆动幅度减小,提高了末端稳定性,最终可提高测量精度。

主权项:1.一种末端稳定性较好的冂字型长探针装置,其特征在于,包括依次连接的长探针组件5、调整机构和延长板6;所述探针组件5、调整机构及延长板6呈冂字型结构;所述长探针组件5用于对被测物体基于光纤白光干涉测量原理进行测量;所述调整机构用于调整长探针组件5的位置;所述延长板6可调节高度,以适应不同高度的被测物体。

全文数据:

权利要求:

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