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申请/专利权人：东莞市立芯泰半导体有限公司
摘要：本实用新型涉及微电子设备技术领域，且公开了一种高稳定性探针卡，包括探针卡底板，所述探针卡底板的顶端设置有探针安装板，所述探针安装板的顶端固定安装有多个探针主体，所述探针主体皆沿着探针安装板的轴线呈中心对称分布，所述探针安装板上固定安装有探针支撑柱，所述探针主体皆与探针支撑柱固定连接，所述探针主体的材质为铍铜合金，所述探针主体的材料使用热处理工艺进行加工，本实用新型通过设有探针卡底板、探针安装板、探针主体、探针支撑柱、探针卡芯片，在实际使用中有效解决现有的探针卡在多次使用后，探针模块会出现明显损坏，同时探针卡整体稳定性较差，使用寿命较短的问题。
主权项：1.一种高稳定性探针卡，包括探针卡底板100，其特征在于，所述探针卡底板100的顶端设置有探针安装板110，所述探针安装板110的顶端固定安装有多个探针主体111，所述探针主体111皆沿着探针安装板110的轴线呈中心对称分布，所述探针安装板110上固定安装有探针支撑柱112，所述探针主体111皆与探针支撑柱112固定连接，所述探针主体111的材质为铍铜合金，所述探针主体111的材料使用热处理工艺进行加工，所述探针支撑柱112的顶端固定安装有探针卡芯片113，所述探针卡底板100的材质为不锈钢和钨钢的合金金属。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东莞市立芯泰半导体有限公司 一种高稳定性探针卡
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