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申请/专利权人：兰州空间技术物理研究所
申请日：2021-12-08
公开（公告）日：2023-07-21
公开（公告）号：CN114323421B
主分类号：G01L21/00
分类号：G01L21/00;G01L27/00
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2023.07.21#授权;2022.04.29#实质审查的生效;2022.04.12#公开
摘要：本申请涉及超高真空比对校准系统技术领域，具体而言，涉及一种保护IE514分离规不受湿度影响的装置及方法，所述保护IE514分离规不受湿度影响的装置包括真空室、以及分别与所述真空室连接的第一截止阀、第二截止阀、以及第三截止阀，其中：真空室通过第一截止阀连接用于真空室内气体置换的高纯氮气瓶；真空室通过第二截止阀连接用于真空室抽真空的机械泵；IE514分离规放置于真空室内，真空室经第三截止阀接校准系统。本申请通过将IE514分离规放置于真空室内，并将真空室的湿度控制在IE514分离规允许的湿度范围内，实现IE514分离规不受外界湿度的影响，为提供IE514分离规提供良好工作环境，进而解决了相关技术中IE514分离规受湿度影响严重的技术问题。
主权项：1.一种保护IE514分离规不受湿度影响的装置，其特征在于，包括：真空室、以及分别与所述真空室连接的第一截止阀、第二截止阀、以及第三截止阀，其中：所述真空室通过所述第一截止阀连接用于所述真空室内气体置换的高纯氮气瓶；所述真空室通过所述第二截止阀连接用于所述真空室抽真空的机械泵；IE514分离规放置于所述真空室内，所述真空室经所述第三截止阀接校准系统；还包括：与所述真空室连接用于测量所述真空室内真空度的真空规；与所述真空室连接用于监测所述真空室内温湿度的温湿度计；还包括穿墙法兰接插件，所述穿墙法兰接插件一端用于将置于所述真空室内的IE514分离规数据线联通，另一端用于连接IE514分离规的显示单元；所述第一截止阀与所述高纯氮气瓶之间可拆卸连接有减压阀；还包括用于对所述真空室各部位进行检漏的氦质谱检漏仪；所述真空室设置有用于打开所述真空室放置IE514分离规的真空室盖板。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 兰州空间技术物理研究所 一种保护IE514分离规不受湿度影响的装置及方法
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