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一种ReS2-HfS2范德瓦尔斯异质结薄膜的制备装置及方法 

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申请/专利权人:西北大学

摘要:本发明公开了一种ReS2‑HfS2范德瓦尔斯异质结薄膜的制备方法,包括步骤一,取HfCl4粉末置于温区二中心上游方向,取硫粉置于温区二中心上游方向,取基底置于温区一中心处;步骤二,对第一燃烧管密封并通过第一出气口进行真空处理后,通过第一进气口向第一燃烧管内通入惰性气体和氢气后,对第一燃烧管的各温区进行加热,制备得到HfS2薄膜;步骤三,取ReO3粉末置于温区三中心处,取硫粉置于温区四中心上游方向,将步骤二制得的HfS2薄膜作为新基底置于温区三ReO3粉末左右两侧;步骤四,对第二燃烧管密封并通过第二出气口进行真空处理后,通过第二进气口向第二燃烧管内通入惰性气体和氢气后,对第二燃烧管的各温区进行加热,得到ReS2‑HfS2范德瓦尔斯异质结薄膜。

主权项:1.一种ReS2-HfS2范德瓦尔斯异质结薄膜的制备装置,其特征在于,该装置包括:第一燃烧管1,所述第一燃烧管1包括第一进气口101与第一出气口102,所述第一燃烧管1中靠近第一出气口102的一端设有温区一103,靠近第一进气口101的一端设有温区二104,所述第一进气口101方向为上游方向,第一出气口102方向为下游方向。第二燃烧管2,所述第二燃烧管2包括第二进气口201与第二出气口202,所述第二燃烧管2中靠近第二出气口202的一端设有温区三203,靠近第二进气口201的一端设有温区四204,所述第二进气口201方向为上游方向,第二出气口202方向为下游方向。

全文数据:

权利要求:

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