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龙图腾网恭喜天津中环领先材料技术有限公司;中环领先半导体材料有限公司申请的专利一种硅片抛光垫清洗装置及清洗方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN110842783B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-01-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201911134376.0，技术领域涉及：B24B53/017；该发明授权一种硅片抛光垫清洗装置及清洗方法是由祝斌;王彦君;裴坤羽;武卫;刘建伟;刘园;孙晨光;由佰玲;谢艳;杨春雪;刘秒;刘姣龙;常雪岩;吕莹;徐荣清设计研发完成，并于2019-11-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种硅片抛光垫清洗装置及清洗方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种硅片抛光垫清洗装置，包括用于储存清洗液的第一水槽和第二水槽、用于清洗上抛光垫和下抛光垫的刷子以及用于控制所述刷子移动的机械臂；所述刷子上端面与所述上抛光垫接触，所述刷子下端面与所述下抛光垫接触；所述第一水槽通过第一水管与所述第二水槽连通，所述第二水槽通过所述第二水管与所述刷子连通；设置在所述刷子上下端部的喷嘴均与所述机械臂轴线成一定角度。本发明还提出一种硅片抛光垫清洗方法。本发明提出的清洗装置，可完全去除抛光垫表面附着的SiO2胶体颗粒、抛光药液和硅粉，自动化程度高，清洗效果好且效率高。

本发明授权一种硅片抛光垫清洗装置及清洗方法在权利要求书中公布了：1.一种硅片抛光垫清洗装置，其特征在于，包括用于储存清洗液的第一水槽和第二水槽、用于清洗上抛光垫和下抛光垫的刷子以及用于控制所述刷子移动的机械臂；所述刷子上端面与所述上抛光垫接触，所述刷子下端面与所述下抛光垫接触；所述第一水槽通过第一水管与所述第二水槽连通，所述第二水槽通过第二水管与所述刷子连通；设置在所述刷子上下端部的喷嘴均与所述机械臂轴线成一定角度；所述刷子中心轴线分别与所述上抛光垫端面和所述下抛光垫端面垂直；在所述刷子内部设有T型结构的通道，所述第二水管贯穿所述机械臂与所述通道一端连通，所述喷嘴与所述通道另两端连通；在第一水槽中设有低压水泵，在第二水槽中设有高压水泵；在第一水槽和第二水槽中的清洗液为纯水，则纯水从第一水槽中的低压水泵排出经第一水管进入第二水槽中；再从第二水槽中的高压水泵排出经第二水管贯穿机械臂再经设置在刷子内部的通道到达设置在刷子上下两端的喷嘴喷出，最终洒向上抛光垫和下抛光垫的表面上；所述刷子上下端面均设有喷嘴组件，所述喷嘴置于所述喷嘴组件中部；所述喷嘴组件悬空设置在所述刷子端面中心轴线处且沿所述刷子长度方向向外延伸设置；所述喷嘴组件还包括用于卡固所述喷嘴的套夹和用于调节所述喷嘴角度的调节件，所述喷嘴、所述套夹和所述调节件从内向外依次设置；所述刷子上下端面还设有毛刷组件，所述毛刷组件与所述喷嘴组件同向设置，所述毛刷组件置于所述喷嘴组件外侧，所述毛刷组件与所述喷嘴组件之间有空隙；毛刷组件包括圆筒结构的毛刷座，毛刷座的一端内嵌固定在壳体的端面，在壳体与毛刷座配合的位置圆周上还设有至少两个弹簧止推片；毛刷座的另一端设有第一刷头和第二刷头，第一刷头和第二刷头均沿毛刷座周缘同向均匀设置，第一刷头靠近毛刷座的外壁设置，第二刷头置于第一刷头的内侧，且第一刷头和第二刷头错位设置；第一刷头的直径不小于第二刷头的直径；调节件包括调节帽和调节盘，调节帽的外壁为六角形结构，内嵌设置在调节盘内，调节帽中心内部设有螺纹通孔与壳体上端外壁螺纹配合并将套夹固定在其内，调节帽的上段内壁与套夹的外壁相适配；调节盘的外壁为圆形，在调节盘周缘设有若干通孔，调整喷嘴的角度后再旋转调节帽使喷嘴固定住，再在喷嘴位置处的通孔上用螺栓固定，使调节盘与调节帽相互配合旋紧，将喷嘴完全固定，进而将喷嘴喷洒的角度θ固定。

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