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龙图腾网恭喜浙江大学;浙江创芯集成电路有限公司申请的专利一种基于扩散模型的软传感器技术数据生成方法和系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119558209B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510132533.3，技术领域涉及：G06F30/27；该发明授权一种基于扩散模型的软传感器技术数据生成方法和系统是由陈一宁;谢玮平;高大为;陈鼎崴设计研发完成，并于2025-02-06向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于扩散模型的软传感器技术数据生成方法和系统在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于扩散模型的软传感器技术数据生成方法和系统，属于软传感器技术数据生成领域。收集晶圆制造过程中的数据作为训练集，包括半导体关键制造步骤的过程数据和量测数据；利用训练集迭代训练回归增强扩散模型；在迭代训练过程中，每完成一轮训练后根据虚拟样本子集的非支配排序结果和拥挤度结果筛选部分虚拟样本子集并加入训练集；最后，以随机高斯噪声为输入，利用训练后的回归增强扩散模型的回传去噪模块生成虚拟过程数据，将生成结果作为半导体关键制造步骤的软传感器技术数据。本发明增强了模型捕捉复杂映射关系的能力，能够生成具备代表性的高质量的合成训练样本用于软传感器模型的训练，显著提升现有软传感器模型的性能。

本发明授权一种基于扩散模型的软传感器技术数据生成方法和系统在权利要求书中公布了：1.一种基于扩散模型的软传感器技术数据生成方法，其特征在于，包括以下步骤：（1）收集晶圆制造过程中的数据，包括半导体关键制造步骤的过程数据和量测数据，将收集到的过程数据和量测数据作为训练集；所述的半导体关键制造步骤包括化学气相沉积步骤、刻蚀步骤、化学机械研磨步骤；（2）利用训练集迭代训练回归增强扩散模型；所述的回归增强扩散模型包括扩散加噪模块、回传去噪模块和基于多头注意力机制的回归增强模块，所述扩散加噪模块逐步将随机噪声添加至训练集的过程数据中得到纯高斯噪声数据，回传去噪模块逐步将纯高斯噪声数据去噪复原，生成虚拟过程数据；回归增强模块分别根据真实过程数据和虚拟过程数据生成虚拟量测数据，根据虚拟量测数据和真实量测数据的损失、回传去噪损失和利普希茨约束损失更新回归增强扩散模型参数；在迭代训练回归增强扩散模型过程中，每完成一轮训练后更新训练集，更新方法为：将回传去噪模块所生成的虚拟过程数据划分为虚拟样本子集，根据虚拟样本子集的非支配排序结果和拥挤度结果筛选部分虚拟样本子集并加入训练集；（3）以随机高斯噪声为输入，利用训练后的回归增强扩散模型的回传去噪模块生成虚拟过程数据，将生成结果作为半导体关键制造步骤的软传感器技术数据。

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