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龙图腾网恭喜苏州秦宁微纳光电科技有限公司申请的专利基于二维光栅的多自由度位移测量系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111174714B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-16发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010177242.3，技术领域涉及：G01B11/02；该发明授权基于二维光栅的多自由度位移测量系统是由刘红忠;史永胜;尹磊;陈邦道设计研发完成，并于2020-03-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于二维光栅的多自由度位移测量系统在说明书摘要公布了：本发明提出了基于二维光栅的多自由度位移测量系统，包括分别设置在运动部件和活动部件上的读数模块以及二维光栅，其中，所述读数模块包括沿第一方向排列的两组第一位移传感器、沿第二方向排列的两组第二位移传感器以及位于第一传感器和第二传感器物理中心的距离传感器。本发明解决了传统多自由度测量系统中需要多路传感读数系统独立安装的难题，能够实现对二维平面位移、旋转量及垂直于二维平面的四个自由度方向的位移精密测量，且通过布设距离传感器，实现直接调节和确定读数模块与二维光栅的最佳读数间距位置，简化了传统二维光栅安装调试的工艺过程，同时降低了其调试的技术难度。

本发明授权基于二维光栅的多自由度位移测量系统在权利要求书中公布了：1.基于二维光栅的多自由度位移测量系统，用于测量固定部件与运动部件之间的位移，其特征在于，包括读数模块以及二维光栅，所述读数模块与所述二维光栅分别设置在固定部件和运动部件上；所述读数模块包括用于测量X方向位移的X向位移传感器单元、用于测量Y方向位移的Y向位移传感器单元以及用于测量固定部件与运动部件之间Z向位移的距离传感器；所述X向位移传感器单元包括两组第一位移传感器，两组所述第一位移传感器沿第一方向排列；所述Y向位移传感器单元包括两组第二位移传感器，两组所述第二位移传感器沿第二方向排列；所述第一方向和所述第二方向相互垂直，所述距离传感器位于两组第一位移传感器的连线以及两组第二位移传感器的连线的相交处；所述二维光栅用于X向位移传感器单元和Y向位移传感器单元的测量基础以及所述距离传感器的测量光线的反射面；两组所述第一位移传感器与所述距离传感器之间的距离相同，记为d1；两组所述第二位移传感器与所述距离传感器之间的距离相同，记为d2；其中，d1等于d2或者d1不等于d2；所述读数模块包括读数壳体，所述X向位移传感器单元、所述Y向位移传感器单元以及所述距离传感器均设置在所述读数壳体的下表面，所述读数模块通过所述读数壳体固定安装在运动部件或固定部件上；所述读数模块还包括信息处理单元，所述信息处理单元与所述X向位移传感器单元、所述Y向位移传感器单元和所述距离传感器连接；所述信息处理单元包括传感器细分模组、X向位移精度补偿模组、Y向位移精度补偿模组、旋转角度计算模组以及数据接口模组；所述传感器细分模组将X向位移传感器单元、所述Y向位移传感器单元以及所述距离传感器传输来的信号分别转换为对应的数字脉冲信号，并将对应的数字脉冲信号分别传送至所述X向位移精度补偿模组和所述Y向位移精度补偿模组；所述X向位移精度补偿模组和所述Y向位移精度补偿模组输出标准的数字脉冲信号后经所述数据接口模组输出；所述传感器细分模组与所述旋转角度计算模组连接，将X向位移传感器单元、所述Y向位移传感器单元传输来的信号传输来的信号转换后输入至所述旋转角度计算模组，所述旋转角度计算模组经旋转角度计算后经所述数据接口模组输出。

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