恭喜黄招凤获国家专利权
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龙图腾网恭喜黄招凤申请的专利一种芯片自动排列装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114695179B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-16发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202111461906.X,技术领域涉及:H01L21/67;该发明授权一种芯片自动排列装置是由黄招凤设计研发完成,并于2021-12-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种芯片自动排列装置在说明书摘要公布了:本发明属于半导体加工技术领域,具体涉及一种芯片自动排列装置,包括,机座;膜模组,其设于机座上,用于放置待转移的芯片;像模组,其设于机座上,包括相机,用于扫描并辨识膜模组上待转移的芯片;针模组,包括顶针,膜模组上待转移的芯片移动至针模组上方并经过像模组扫描辨识后,通过顶针撞击芯片使芯片转移至晶模组上;晶模组,其设于机座上,承接来自膜模组的芯片并进行排列后转移至下一工序。同现有技术相比,本发明的排列装置便于快速、精准的将芯片转移至芯片载体玻璃上,在该过程可防止芯片翻面、歪斜或遗漏;与此同时,自动排列装置体积小,在同一机座上可安装多套排列装置,不仅可提高加工效率,还可节约安装空间。
本发明授权一种芯片自动排列装置在权利要求书中公布了:1.一种芯片自动排列装置,其特征在于,包括,机座;膜模组,其设于机座上,用于放置待转移的芯片;像模组,其设于机座上,包括相机,用于扫描并辨识膜模组上待转移的芯片;针模组,包括顶针,膜模组上待转移的芯片移动至针模组上方并经过像模组扫描辨识后,通过顶针撞击芯片使芯片转移至晶模组上;晶模组,其设于机座上,承接来自膜模组的芯片并进行排列后转移至下一工序;所述针模组位于膜模组内;晶模组包括位于膜模组上方的负压吸取组件;所述晶模组包括,机身支架,活动设于机身支架上的负压吸取组件、X向传动组件,设于X向传动组件下方且与其相连接的Z向升降组件;所述机身支架是一个由上部方框、两块侧立板及一块机身底板围合而成的方形框体;所述负压吸取组件包括,两根分别设于两块侧立板内表面上的纵向导轨,分别设于两根纵向导轨上的纵向滑块,两块分别与两根纵向导轨上的纵向滑块连接的活动板,两侧分别与两块活动板固定连接的玻璃载板,嵌设于玻璃载板内用于放置芯片载体玻璃的玻璃吸板,设于其中一块侧立板外表面上的第一直线电机定子,活动设于第一直线电机定子上的第一直线电机动子;所述第一直线电机动子与其中一块活动板固定连接;所述X向传动组件包括,升降底座,设于其上表面的两组X向传动滑块,两根相互平行且分别与两组X向传动滑块活动连接的X向传动导轨,设于升降底座一侧面的第二直线电机定子,活动设于第二直线电机定子上的第二直线电机动子;所述机身底板与两根X向传动导轨及第二直线电机动子相连接;所述Z向升降组件包括,固设于机座上的安装底座,设于安装底座上表面的Z向底板,设于Z向底板上表面的两组水平方向的水平交叉滚柱滑轨,设于两组水平交叉滚柱滑轨上的设有支撑斜面的水平滑台,活动设于水平滑台上且设有与支撑斜面相贴合的Z向斜面的Z向滑台;设于Z向底板上且与水平滑台相连接用于带动水平滑台在Z向底板上往复直线运动的水平动力组件;设于Z向底板上一端部上表面的Z向副滑台;所述Z向滑台的一端通过两组Z向交叉滚柱滑轨与Z向副滑台一侧面内的Z向导轨活动连接;所述水平滑台在Z向底板上往复直线运动时,Z向滑台随之相对Z向副滑台升降。
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