恭喜朗姆研究公司约翰·E·多尔蒂获国家专利权
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
龙图腾网恭喜朗姆研究公司申请的专利销升降器测试衬底获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113169090B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-03发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201880099979.9，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权销升降器测试衬底是由约翰·E·多尔蒂;经常友;苏希尔·阿南德设计研发完成，并于2018-12-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本销升降器测试衬底在说明书摘要公布了：各种实施方案包含当衬底处于处理工具上的衬底处理位置时对衬底销升降器提供原位非侵入性验证的设备。所公开的主题还可验证从处理工具移除衬底时的非预期衬底移动。在一示例性的实施方案中，销升降器测试衬底包含多个运动感测器以及至少一个力传感器。该多个运动传感器包含至少一种类型的传感器，该至少一种类型的传感器选自包含测斜仪和加速度计的多个传感器类型。销升降器测试衬底上的存储器装置记录从运动传感器所接收的数据。替代存储器装置或除了存储器装置外，无线通信装置还将从该多个运动传感器所接收的数据传送至远程接收器。公开了其他设备及系统。
本发明授权销升降器测试衬底在权利要求书中公布了：1.一种销升降器测试衬底系统，其包含：安装在销升降器测试衬底上的多个运动传感器，所述多个运动传感器包含至少一种类型的传感器，其选自包含测斜仪和加速度计的传感器类型；一或更多个力传感器，在所述销升降器测试衬底放置于衬底支撑装置上时所述一或更多个力传感器位于多个衬底销升降器的对应位置附近，其中所述一或更多个力传感器被配置成判断是否存在从销升降器测试衬底至所述衬底支撑装置的接触力；通信装置，其配置成传送从所述多个运动传感器和所述一或更多个力传感器接收的数据；以及存储器装置，其以通信方式耦合至所述通信装置且被配置成记录从所述多个运动传感器和所述一或更多个力传感器接收的所述数据。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人朗姆研究公司，其通讯地址为：美国加利福尼亚州；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号