恭喜安徽超元半导体有限公司王印玺获国家专利权
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龙图腾网恭喜安徽超元半导体有限公司申请的专利一种晶圆检测的自动对位装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119086438B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-13发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411197026.X,技术领域涉及:G01N21/01;该发明授权一种晶圆检测的自动对位装置是由王印玺;乔如玉设计研发完成,并于2024-08-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆检测的自动对位装置在说明书摘要公布了:本发明提供一种晶圆检测的自动对位装置,涉及晶圆检测技术领域。该晶圆检测的自动对位装置包括固定板,所述固定板的上方设置有调节机构,所述调节机构包括蜗轮一,所述蜗轮一的底面和固定板转动连接,所述蜗轮一的顶面固定连接有转动杆,所述转动杆的外表面转动连接有蜗轮二和转筒。该晶圆检测的自动对位装置通过蜗轮一、转动杆、蜗轮二、转筒、锥齿轮一、运动架、转杆、锥齿轮二、电机一、蜗杆一、固定块、电机二和蜗杆二的配合设置,从而实现了本发明通过转杆和运动架的转动使承载板进行多方位自动调节,有效的使显微镜本体能够对晶圆侧面的每个位置进行多角度的对位检测,进一步的使本装置更具有实用性。
本发明授权一种晶圆检测的自动对位装置在权利要求书中公布了:1.一种晶圆检测的自动对位装置,包括固定板1,固定板为金属材质,其特征在于:所述固定板1的上方设置有调节机构2,所述调节机构2包括蜗轮一201,所述蜗轮一201的底面和固定板1转动连接,所述蜗轮一201的顶面固定连接有转动杆202,所述转动杆202的外表面转动连接有蜗轮二203和转筒204,所述蜗轮二203的顶面和转筒204固定连接,所述转动杆202远离蜗轮一201的一端固定连接有锥齿轮一205,所述锥齿轮一205的底面转动连接有运动架206,所述运动架206的底面和转筒204固定连接,所述运动架206的内壁转动连接有转杆207,所述固定板1的上方设置有对位机构5,所述对位机构5包括承载板501,所述承载板501的内壁滑动连接有滑动块502,所述滑动块502的内壁螺纹连接有双向螺杆503,所述双向螺杆503的两端和承载板501转动连接,所述滑动块502的顶面固定连接有夹紧板504,所述承载板501的内壁固定连接有滑杆505,所述滑杆505的外表面和滑动块502滑动连接,还包括多组上下定位机构,夹紧板(504)两侧为齿条(601),上下定位机构包括控制杆606、控制头602、控制齿603、控制球605,承载板501上设置有螺纹孔,螺纹孔上为圆孔,圆孔可容纳控制齿,控制杆606顶部固定有控制头602,控制头602呈圆盘状,控制齿603固定设置在控制杆606上部,控制球605固定设置在控制杆606下端,控制头602用于控制上夹持部实现夹持,控制球用于控制下夹持部实现夹持,从而实现对晶圆地上下夹持,齿条601通过中间传动结构或者直接与控制齿603配合实现夹持晶圆。
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