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恭喜联达科技设备私人有限公司韩津丰获国家专利权

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龙图腾网恭喜联达科技设备私人有限公司申请的专利元件处理器获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114467172B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-06发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201980100892.3,技术领域涉及:H01L21/677;该发明授权元件处理器是由韩津丰设计研发完成,并于2019-11-08向国家知识产权局提交的专利申请。

元件处理器在说明书摘要公布了:本公开涉及一种用于处理元件102的系统100。该系统100包括转塔组件200,该转塔组件200包括可绕水平轴204旋转的转塔202;以及围绕转塔202并自水平轴204径向对齐的多个端部执行器206。该系统100还包括支撑组件300,其布置成支撑包括经分割元件102的源衬底302;以及元件传送组件400,其布置成支撑用于接收来自端部执行器206的经分割元件102的元件传送介质402。所述转塔组件200,支撑组件300和元件传送组件400彼此垂直布置。在转塔202的旋转过程中,端部执行器206不断从源衬底302拾取经分割元件102并将拾取的经分割元件102放置在元件传送介质402上。

本发明授权元件处理器在权利要求书中公布了:1.一种用于处理组件的系统,所述系统包括:转塔组件,包括:可绕水平轴旋转的转塔;和附接到转塔并围绕转塔外围布置的多个端部执行器,所述端部执行器自水平轴径向对齐;支撑组件,其布置成将源衬底移动到取回位置,所述支撑组件布置在转塔组件下方,使得多个端部执行器中的一个在竖直向下方向位于所述源衬底的X-Y-θ坐标位置中元件的上方,用于从所述源衬底取回元件;元件传送组件,其布置成将元件传送介质参考源衬底上元件的数字地图位置移动到元件释放位置,所述元件释放位置对应于用于从所述转塔组件的端部执行器接收元件的源衬底的X-Y-θ坐标位置,所述元件传送组件布置在转塔组件上方,使得所述转塔组件的多个端部执行器中的一个定位在竖直向上方向,用于直接从所述转塔组件的端部执行器释放元件;和图像捕获设备,其自水平轴径向对齐,并且配置用于在转塔旋转期间捕获由端部执行器保持的元件的图像,其中,在将元件放置在元件转移介质上之前,通过元件转移组件校正或补偿由图像捕获设备捕获到的元件X-Y-θ坐标位置的任何偏差。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人联达科技设备私人有限公司,其通讯地址为:新加坡加冷道大牌25号加冷盆地工业区04-01号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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