买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网恭喜中鑫博远(北京)科技有限公司申请的专利一种半导体制造晶圆光刻设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222838348U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421930305.8，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种半导体制造晶圆光刻设备是由何志森设计研发完成，并于2024-08-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种半导体制造晶圆光刻设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种半导体制造晶圆光刻设备，包括底座，所述底座的顶部固定连接有支撑板，所述底座的顶部固定连接有机台，所述底座的后侧固定连接有第一电机，所述底座的顶部开设有第一凹槽，所述第一电机的输出端固定连接有位于第一凹槽内的第一螺杆，所述第一螺杆的外侧螺纹连接有第一移动块。本实用新型通过设置第一螺杆与第一移动块，第一电机可带动移动座前后移动，便于对陶瓷盘上快速上料，通过设置第一导流槽与过滤箱，抽风机可从右侧将陶瓷盘上的灰尘吸进过滤箱内，通过设置气管与第二导流槽，抽风机可从左侧对陶瓷盘上吹风，配合第一导流槽抽风，减少陶瓷盘上工作时产生的灰尘，防止残留在晶圆片上。

本实用新型一种半导体制造晶圆光刻设备在权利要求书中公布了：1.一种半导体制造晶圆光刻设备，包括底座（1），其特征在于：所述底座（1）的顶部固定连接有支撑板（2），所述底座（1）的顶部固定连接有机台（3），所述底座（1）的后侧固定连接有第一电机（4），所述底座（1）的顶部开设有第一凹槽（5），所述第一电机（4）的输出端固定连接有位于第一凹槽（5）内的第一螺杆（6），所述第一螺杆（6）的外侧螺纹连接有第一移动块（7），所述第一移动块（7）的顶部固定连接有移动座（8），所述移动座（8）的顶部活动连接有陶瓷盘（9），所述支撑板（2）的内侧固定连接有第一导流槽（10），所述支撑板（2）的右侧固定连接有过滤箱（11），所述过滤箱（11）与第一导流槽（10）连通，所述过滤箱（11）的外侧固定连接有抽风机（12），所述抽风机（12）的进气口与过滤箱（11）连通，所述支撑板（2）的内侧固定连接有位于陶瓷盘（9）左侧的第二导流槽（13），所述抽风机（12）的出气口连通有气管（14），所述气管（14）的出气口与第二导流槽（13）连通。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中鑫博远(北京)科技有限公司，其通讯地址为：101500 北京市密云区河南寨镇密顺路18号产业基地办公楼420室-4232(集群注册)；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。