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龙图腾网恭喜四川艾庞机械科技有限公司申请的专利一种用于LED芯片干法蚀刻的载片治具获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119542247B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510104663.6，技术领域涉及：H01L21/687；该发明授权一种用于LED芯片干法蚀刻的载片治具是由周磊;蒋孟林;丁媛;郑伟;窦沛静设计研发完成，并于2025-01-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种用于LED芯片干法蚀刻的载片治具在说明书摘要公布了：一种用于LED芯片干法蚀刻的载片治具，涉及半导体技术领域，包括设置有两个保护机构的壳体机构，设置在壳体机构内部的用于控制两个保护机构工作的总控机构，分别设置在两个保护机构下端的两个冷却机构，以及为两个冷却机构提供氦气，并避免因输入的气压太大造成晶圆受损的缓冲机构；该设备能够将载台收入到设备内部，避免直接暴露载台，对载台进行有效保护；该设备能够在对晶圆进行蚀刻时，将载台抬升出设备，操作简单，实用性高；该设备能够对载台进行均匀有效冷却降温，提高设备利用率的同时，保证LED芯片干法蚀刻顺利进行。

本发明授权一种用于LED芯片干法蚀刻的载片治具在权利要求书中公布了：1.一种用于LED芯片干法蚀刻的载片治具，其特征在于，包括设置有两个保护机构2的壳体机构1，设置在壳体机构1内部的用于控制两个保护机构2工作的总控机构3，分别设置在两个保护机构2下端的两个冷却机构5，以及为两个冷却机构5提供氦气，并避免因输入的气压太大造成晶圆受损的缓冲机构4；所述的壳体机构1包括：载片盘101和保护盒102；所述的载片盘101上设有两个方孔，方孔两侧设有凹槽；保护盒102固定安装在载片盘101的下端面；所述的保护机构2包括：载台201、第一盖板202和第二盖板203；所述的载台201滑动安装在载片盘101上的一个方孔处；第一盖板202和第二盖板203分别滑动安装在这个方孔两侧的凹槽，第一盖板202和第二盖板203的外侧均固定安装有竖板；所述的保护机构2还包括：顶块204和齿条Ⅰ205；所述的顶块204固定安装在载台201侧面,顶块204的下端与对应的凸轮307接触；齿条Ⅰ205固定安装在第二盖板203外侧的竖板上，齿条Ⅰ205与圆杆Ⅰ305端部的齿轮相互啮合；所述的顶块204的上端安装有弹簧，弹簧的另一端与对应的Z形板308的下端面连接；所述的总控机构3包括：大支架301、支撑块Ⅰ302、推杆303、齿轮Ⅰ304、圆杆Ⅰ305、圆杆Ⅱ306、凸轮307、Z形板308、支撑块Ⅱ309、杠杆310、Z形架Ⅰ311、Z形架Ⅱ312、小齿轮Ⅱ313、卡板314和卡架315；所述的大支架301固定安装在载片盘101的下端面；支撑块Ⅰ302固定安装在大支架301上；推杆303滑动安装在支撑块Ⅰ302的下端，推杆303的内端固定安装有一个齿条；齿轮Ⅰ304的轴转动安装在大支架301上的两个竖板之间的圆孔里，齿轮Ⅰ304与推杆303内端的齿条间歇啮合；圆杆Ⅰ305转动安装在大支架301后侧板子上的圆孔里，圆杆Ⅰ305与齿轮Ⅰ304的轴通过同步带连接；圆杆Ⅱ306转动安装在大支架301上的竖板的圆孔里，圆杆Ⅱ306上固定安装有一个齿轮；凸轮307有两个，两个凸轮307分别固定安装在圆杆Ⅱ306的两端；Z形板308有两个，两个Z形板308分别固定安装在大支架301的两侧；支撑块Ⅱ309有两个，两个支撑块Ⅱ309分别固定安装在大支架301上；杠杆310有两个，两个杠杆310的中间轴分别转动安装在两个支撑块Ⅱ309下端的圆孔里，杠杆310的两端分别固定安装有小杆；Z形架Ⅰ311的一端固定安装在第一盖板202外侧的竖板上，Z形架Ⅰ311的另一端设有卡槽，杠杆310的一端小杆在Z形架Ⅰ311上的卡槽里滑动；Z形架Ⅱ312有两个，两个Z形架Ⅱ312的一端分别滑动安装在推杆303的两侧，Z形架Ⅱ312的另一端设有卡槽，杠杆310的另一端小杆在Z形架Ⅱ312上的卡槽里滑动；小齿轮Ⅱ313固定安装推杆303的侧面，小齿轮Ⅱ313与圆杆Ⅱ306上的齿轮间歇啮合；卡架315固定安装在载片盘101的下端面，卡架315上安装有内外两个卡槽；卡板314的一端轴转动安装在推杆303的外端圆孔里，卡板314的另一端与卡架315上的两个卡槽间歇交替卡死；所述的缓冲机构4通过杆固定安装在载片盘101的下端面，缓冲机构4的两侧分别固定安装有两个空心管；所述的冷却机构5包括：L形支板501、冷却架502、主通气架503和分通气架504；所述的L形支板501固定安装在载片盘101的下端面；冷却架502有两个，两个冷却架502拼接为一个方形架；主通气架503固定安装在L形支板501上，主通气架503内部为空腔，主通气架503为圆环形，主通气架503的上端设有四个中心对称的出气孔；分通气架504有四个，四个分通气架504的内部为空腔，分通气架504为圆环形，四个分通气架504的下端进气口分别与主通气架503上的四个出气孔固定连接，分通气架504的上端设有两个中心对称的出气孔，分通气架504上端的出气孔分别与两组冷却架502上的冷却空心杆下端的进气孔对应连接。

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