恭喜佳能株式会社北直树获国家专利权
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龙图腾网恭喜佳能株式会社申请的专利驱动系统、光刻装置以及物品的制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113541532B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110421529.0，技术领域涉及：H02P6/00；该发明授权驱动系统、光刻装置以及物品的制造方法是由北直树设计研发完成，并于2021-04-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本驱动系统、光刻装置以及物品的制造方法在说明书摘要公布了：本发明涉及驱动系统、光刻装置以及物品制造方法。为了提供能够进行精度高的驱动的驱动系统，在驱动系统中，具有：马达，包括定子和动子；位置检测部，检测马达的定子和动子的相对位置；取得部，取得与所述相对位置对应的成为基准的磁通密度信息；测定单元，测定与所述相对位置对应的实际的磁通密度信息；以及控制单元，将成为基准的磁通密度信息的大小与预定的设定值一致时的所述相对位置设为第1相对位置，将由测定单元测定的磁通密度信息的大小与所述预定的设定值一致时的所述相对位置设为第2相对位置，在测定的磁通密度信息变化一个周期的期间多次取得第1相对位置与第2相对位置之差，根据所述多次中的每一次的差，控制马达的驱动。
本发明授权驱动系统、光刻装置以及物品的制造方法在权利要求书中公布了：1.一种驱动系统，其特征在于，具有：马达，包括定子和动子；位置检测部，检测所述定子与所述动子的相对位置；取得部，取得与所述相对位置对应的成为基准的磁通密度信息；测定单元，测定与所述相对位置对应的实际的磁通密度信息；以及控制单元，控制所述马达的驱动，所述控制单元对于N_st个预定的设定值中的每个预定的设定值，在测定的所述磁通密度信息变化一个周期的期间N_sh次取得作为成为所述基准的磁通密度的大小与所述预定的设定值一致时的相对位置的第1相对位置与作为由所述测定单元测定的磁通密度的大小与所述预定的设定值一致时的相对位置的第2相对位置之差，根据关于所述N_st个预定的设定值取得的全部N_sh*N_st个所述差，控制所述马达的驱动，其中N_st1，N_sh1。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人佳能株式会社，其通讯地址为：日本东京；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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