恭喜台湾积体电路制造股份有限公司陈柏宏获国家专利权
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龙图腾网恭喜台湾积体电路制造股份有限公司申请的专利光刻胶剂烘烤设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113703293B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110528811.9，技术领域涉及：G03F7/38；该发明授权光刻胶剂烘烤设备是由陈柏宏;陈裕凯设计研发完成，并于2021-05-14向国家知识产权局提交的专利申请。
本光刻胶剂烘烤设备在说明书摘要公布了：本公开实施例提供一种光刻胶剂烘烤设备。光刻胶剂烘烤设备包括烘烤室、烤盘、排气管路以及盖板。烘烤室在其侧壁上具有排气口。烤盘设置于烘烤室中，并且配置用以支撑晶片及加热在晶片上方的光刻胶剂材料。排气管连接到排气口，并且配置用以排出烘烤室内部的气体。盖板设置于烤盘上方且位于烤盘和排气口之间。盖板具有多个排气孔以允许空气流过。其中，较远离排气口的排气孔的尺寸大于较靠近排气口的排气孔的尺寸。
本发明授权光刻胶剂烘烤设备在权利要求书中公布了：1.一种光刻胶剂烘烤设备，包括：一烘烤室，在该烘烤室的一侧壁上具有一排气口；一烤盘，设置于该烘烤室中，配置用以支撑一晶片及加热在该晶片上方的一光刻胶剂材料；一排气管路，连接到该排气口，配置用以排出该烘烤室内部的一气体；以及一盖板，设置于该烤盘上方且位于该烤盘和该排气口之间，其中该盖板具有多个排气孔以允许空气流过，其中，较远离该排气口的多个所述排气孔中的一个的尺寸大于较靠近该排气口的多个所述排气孔中的一个的尺寸，且尺寸较大的多个所述排气孔也具有较大的间距，其中随着多个所述排气孔与该排气口之间的距离逐渐增加，多个所述排气孔之间的间距逐渐增大。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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