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恭喜深圳市海谱纳米光学科技有限公司林琳获国家专利权

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龙图腾网恭喜深圳市海谱纳米光学科技有限公司申请的专利一种FPI批量测试系统及其测试方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114113871B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-29发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202111406674.8,技术领域涉及:G01R31/01;该发明授权一种FPI批量测试系统及其测试方法是由林琳;黄锦标;郭斌设计研发完成,并于2021-11-24向国家知识产权局提交的专利申请。

一种FPI批量测试系统及其测试方法在说明书摘要公布了:本发明提出了一种FPI批量测试系统,包括控制器、第一多路复用器、第二多路复用器以及FPI承载模块;所述FPI承载模块包括m条横向选通线、n条竖向选通线以及由m行n列FPI载具组成的FPI载具阵列,所述FPI载具阵列用于承载待测试的FPI,从而构成FPI阵列;m条所述横向选通线的一端均电性连接第一多路复用器,且另一端分别并联所述FPI阵列对应行的n个FPI,n条所述竖向选通线的一端均电性连接第二多路复用器,且另一端分别并联所述FPI阵列对应列的m个FPI;还包括成像设备,所述成像设备用于采集所述FPI阵列的干涉图像。本发明通过搭建FPI承载模块,基于多路复用器构建FPI选通阵列,兼容了个体间的差异,满足FPI批量化测试需求,因此大大的提高了FPI的测试效率。

本发明授权一种FPI批量测试系统及其测试方法在权利要求书中公布了:1.一种FPI批量测试系统,其特征在于,包括控制器、第一多路复用器、第二多路复用器以及连接在所述第一多路复用器与所述第二多路复用器之间的FPI承载模块;所述FPI承载模块包括m条横向选通线、n条竖向选通线以及由m行n列FPI载具组成的FPI载具阵列,所述m≥2,n≥2,且所述m、n均为整数,所述FPI载具阵列用于承载待测试的FPI,从而构成FPI阵列;m条所述横向选通线的一端均电性连接所述第一多路复用器,且另一端分别并联所述FPI阵列对应行的n个所述FPI,n条所述竖向选通线的一端均电性连接所述第二多路复用器,且另一端分别并联所述FPI阵列对应列的m个所述FPI,所述第一多路复用器和第二多路复用器均电性连接至控制器;还包括成像设备,所述成像设备用于采集所述FPI阵列的干涉图像;所述系统用于对所述干涉图像进行检测,当检测到所述干涉图像存在缺陷点时,提取所述缺陷点的信息,并在所述缺陷点上框选出对应的检测窗口,利用所述检测窗口的步进对所述FPI阵列中其它FPI的相同位置进行对比检测。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人深圳市海谱纳米光学科技有限公司,其通讯地址为:518000 广东省深圳市宝安区新安街道兴东社区69区中粮创芯研发中心1栋1903,1904;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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