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龙图腾网恭喜厦门柔性电子研究院有限公司;厦门钜德电子科技有限公司申请的专利一种晶圆类产品电镀上下料设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113337871B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-25发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110746454.3，技术领域涉及：C25D17/00；该发明授权一种晶圆类产品电镀上下料设备是由续振林;李山水;李毅峰;朱石宝;陈妙芳设计研发完成，并于2021-07-01向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆类产品电镀上下料设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆类产品电镀上下料设备，包括工作台、晶圆盒装载装置、晶圆机器人、晶圆校准器、翻转机械手、安装拆卸机构、电镀挂具以及晶圆治具；晶圆机器人、晶圆校准器、翻转机械手以及安装拆卸机构均设于工作台上，电镀挂具则设在安装拆卸机构上；晶圆盒装载装置、晶圆校准器和翻转机械手处于晶圆机器人的晶圆取料手臂的操作范围内；安装拆卸机构处于翻转机械手的操作范围内，在上料操作时，是将晶圆类产品连同所述晶圆治具锁附在电镀挂具上，并在下料操作时，是将晶圆类产品连同晶圆治具从电镀挂具上解锁并取下。本发明可实现产品的自动上下料操作，设备操作及控制更灵活，效率高。

本发明授权一种晶圆类产品电镀上下料设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆类产品电镀上下料设备，其特征在于：包括工作台、晶圆盒装载装置、晶圆机器人、晶圆校准器、翻转机械手、安装拆卸机构、电镀挂具以及晶圆治具；所述晶圆盒装载装置机设于的工作台旁侧；所述晶圆机器人、所述晶圆校准器、所述翻转机械手以及所述安装拆卸机构均设于工作台上，所述电镀挂具则设在安装拆卸机构上；所述晶圆机器人设置有晶圆取料手臂，晶圆校准器设置有晶圆校准载台，所述晶圆盒装载装置、所述晶圆校准器和所述翻转机械手处于所述晶圆机器人的晶圆取料手臂的操作范围内；且所述安装拆卸机构处于所述翻转机械手的操作范围内，并能为所述电镀挂具进行上下料操作，且所述安装拆卸机构在上料操作时，是将晶圆类产品连同所述晶圆治具锁附在所述电镀挂具上，并在下料操作时，是将晶圆类产品连同所述晶圆治具从所述电镀挂具上解锁并取下；所述电镀挂具包括挂具本体、料槽、扣紧锁卡槽、导条及RFID；所述扣紧锁卡槽设在所述挂具本体的正面和或背面，且呈圆环形分布并能与所述晶圆治具配合锁附，中间位置形成所述料槽；所述导条设在所述挂具本体的两侧面并能在引导滚轮的引导下插入插槽，所述RFID则设于所述挂具本体的顶部两侧；所述晶圆治具包括治具本体、扣紧锁及晶圆空置槽，所述治具本体为环形结构，内圈形成所述晶圆空置槽，所述扣紧锁分布于治具本体上，并能在旋转一定角度时与所述扣紧锁卡槽配合锁附；所述安装拆卸机构包括Y向挂具插座、X向滑动组件、P轴翻转驱动组件、翻转支撑组件以及上下料吸盘组件；所述Y向挂具插座沿Y向布置，所述电镀挂具插设在所述Y向挂具插座上；所述X向滑动组件沿X向固定于所述Y向挂具插座的底部；所述P轴翻转驱动组件位于所述电镀挂具的料槽侧，并通过所述X向滑动组件的带动沿X向靠近或远离所述电镀挂具；所述上下料吸盘组件通过所述翻转支撑组件连接所述P轴翻转驱动组件上，且所述P轴翻转驱动组件驱动所述翻转支撑组件在沿P轴翻转以及沿X向移动时，能带动所述上下料吸盘组件对准所述料槽完成晶圆类产品的上料或下料；其中，X向与Y向垂直，P轴与Y向平行；所述翻转机械手包括安装座、Z轴直线模组、升降固定架、U轴旋转模组、旋转架、V轴旋转模组、旋转臂以及翻转吸盘；所述Z轴直线模组设置于所述安装座上；所述升降固定架连接所述Z轴直线模组上，能在所述Z轴直线模组的驱动下沿Z轴升降；所述U轴旋转模组设置于所述升降固定架上；所述旋转架连接所述U轴旋转模组，能在所述U轴旋转模组的驱动下绕U轴旋转至少90度；所述V轴旋转模组设置于所述旋转架上；所述旋转臂连接于所述V轴旋转模组，并能在所述V轴旋转模组的驱动下绕V轴周期翻转180度；所述翻转吸盘连接所述旋转臂上，用于吸附晶圆类产品；其中，所述Z轴和所述U轴平行，所述V轴垂直于所述Z轴和所述U轴。

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