恭喜朗姆研究公司普尔凯特·阿加瓦尔获国家专利权
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龙图腾网恭喜朗姆研究公司申请的专利改善双重图案化工艺的方位关键尺寸不均匀性获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112313787B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-05-30发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201980043124.9，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权改善双重图案化工艺的方位关键尺寸不均匀性是由普尔凯特·阿加瓦尔;阿德里安·拉沃伊;弗兰克·洛伦·帕斯夸里;拉维·库马尔设计研发完成，并于2019-06-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本改善双重图案化工艺的方位关键尺寸不均匀性在说明书摘要公布了：一种用于调整处理室中的喷头的位置的方法包括：将包括多个心轴的衬底设置在所述处理室中的衬底支撑件上；并且相对于所述衬底支撑件来调整所述喷头的位置。调整所述喷头的所述位置的操作包括基于指示所述喷头的位置和与蚀刻所述衬底相关的方位不均匀性之间的相关性的数据将所述喷头调整到倾斜位置。所述方法还包括：在所述喷头处于基于所述数据而调整到的所述倾斜位置的情况下，执行修整步骤以蚀刻所述多个心轴。
本发明授权改善双重图案化工艺的方位关键尺寸不均匀性在权利要求书中公布了：1.一种用于调整处理室中的喷头的位置的方法，所述方法包括：将衬底设置在所述处理室中的衬底支撑件上，其中在所述衬底上形成多个心轴；相对于所述衬底支撑件来调整所述喷头的位置，其中调整所述喷头的所述位置的操作包括基于指示所述喷头的位置和与蚀刻所述衬底相关的方位蚀刻不均匀性之间的相关性的数据将所述喷头调整到倾斜位置，其中所述数据指示所述方位蚀刻不均匀性对所述喷头的多个不同倾斜位置中的各个位置的灵敏度，并且包括所述多个不同倾斜位置中的每一个在所述衬底表面上各处的蚀刻量的各自的标准偏差；以及在所述喷头处于基于所述数据而调整到的所述倾斜位置的情况下，执行修整步骤以蚀刻所述多个心轴，其中调整所述喷头的所述位置的操作包括将所述喷头的位置调整至倾斜位置，该倾斜位置具有由所述数据所指示的所述多个不同倾斜位置中的每一个在所述衬底表面上各处的蚀刻量的各自的标准偏差中最小的标准偏差。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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