恭喜华为技术有限公司;大连理工大学刘付林获国家专利权
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龙图腾网恭喜华为技术有限公司;大连理工大学申请的专利感光分子及其应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115894438B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-21发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202111163870.7,技术领域涉及:C07D401/04;该发明授权感光分子及其应用是由刘付林;赵建章;秦德君;吴琦;许成强;张雪;胡梦雨设计研发完成,并于2021-09-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本感光分子及其应用在说明书摘要公布了:本申请实施例提供一种感光分子和包含该感光分子的光产酸剂和感光树脂组合物,其分子结构包括含萘环的主结构、与主结构中萘环连接的杂环基X,与杂环基连接的R2;R2选自卤素、芳基、芳烷基、烷芳基、卤代芳基、烷氧基芳基、环氧烷基、环氧芳基、羟基烷基、羟基芳基、羟基烷基取代羟基芳基、氨基芳基、烷基醚基、芳基醚基、环氧烷氧基、环氧烷氧基取代芳基、或含烷氧基硅烷中的一个基团。该感光分子通过在萘环上引入杂环结构和特定的R2基团,可有效改善感光树脂组合物的图案分辨率,及与铜、硅等界面的粘附性,赋予感光分子多功能,简化树脂组合物配方。
本发明授权感光分子及其应用在权利要求书中公布了:1.一种感光分子,其特征在于,所述感光分子的分子结构包括萘酰亚胺结构、与所述萘酰亚胺结构中氮原子连接的取代磺酸基、以及与所述萘酰亚胺结构中萘环连接的杂环基X,与所述杂环基连接的R2;所述取代磺酸基表示为-SO3R1,所述R1为卤代烷基,且所述R1的碳原子数为1-20;所述杂环基X选自三氮唑或四氮唑,所述三氮唑或四氮唑的其中一个氮原子与萘环的碳原子连接;所述R2选自芳基、芳烷基、烷芳基、卤代芳基、烷氧基芳基、环氧芳基、羟基芳基、羟基烷基取代羟基芳基、氨基芳基、芳基醚基、环氧烷氧基取代芳基、含烷氧基硅烷的基团中的一个基团,所述含烷氧基硅烷的基团选自γ-氨丙基三乙氧基硅烷、γ-氨丙基三甲氧基硅烷、N-β-氨乙基-γ-氨丙基三甲氧基硅烷、N-β-氨乙基-γ-氨丙基甲基二甲氧基硅烷、γ-缩水甘油醚氧丙基三甲氧基硅烷、γ-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、γ-巯丙基三甲氧基硅烷、乙烯基三乙氧基硅烷、乙烯基三甲氧基硅烷、乙烯基三β-甲氧基乙氧基硅烷,所述R2的碳原子数为1-20。
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