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龙图腾网恭喜中国科学院微电子研究所申请的专利二次谐波表征光学系统及基于二次谐波表征的检测装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114577727B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-21发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210249155.3，技术领域涉及：G01N21/01；该发明授权二次谐波表征光学系统及基于二次谐波表征的检测装置是由王然;赵泓达;王磊;张学文;李博;张喆;张昆鹏;岳嵩;张紫辰设计研发完成，并于2022-03-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本二次谐波表征光学系统及基于二次谐波表征的检测装置在说明书摘要公布了：本发明提供了一种二次谐波表征光学系统及基于二次谐波表征的检测装置，该二次谐波表征光学系统通过在起偏器与第一物镜之间的光路上增加光束整形模块，将高斯光束的偏振基频光整形为平顶光束的偏振基频光，再经过第一物镜聚焦为符合测试要求的基频光，并将基频光入射到待检测样品。与现有技术中入射到晶圆表面的基频光为高斯光束的方式相比，本申请使入射到待检测样品表面的基频光的光斑内部光强均匀，从而使光斑内部可以均匀的产生二次谐波信号，进而提高二次谐波表征待检测样品缺陷的精度。

本发明授权二次谐波表征光学系统及基于二次谐波表征的检测装置在权利要求书中公布了：1.一种二次谐波表征光学系统，其特征在于，包括：支撑结构；设置在所述支撑结构上且用于将待检测样品保持在其上的样品台；用于向所述待检测样品入射基频光的入射光路系统；所述基频光入射到所述待检测样品之后能够产生携带样品缺陷信息的二次谐波信号，且所述二次谐波信号沿着所述待检测样品表面反射出的光束方向射出；包含有探测器的出射光路系统，所述出射光路系统用于将所述二次谐波信号收集于所述探测器内；其中，所述入射光路系统包括：用于发出激光束的激光器；与所述激光器位置相对的起偏器，所述起偏器用于将所述激光束起偏为具有设定偏振态的偏振基频光，所述偏振基频光为高斯光束；与所述起偏器位置相对的光束整形模块，用于将所述偏振基频光整形为平顶光束；与所述光束整形模块位置相对的第一物镜，所述第一物镜用于将所述平顶光束聚焦为符合测试要求的所述基频光，并将所述基频光入射到所述待检测样品上；所述光束整形模块还用于将所述偏振基频光的光斑整形为平行四边形光斑；与样品台通信连接的控制模块，所述控制模块用于控制样品台带动待检测样品按照预设扫描轨迹运动，预设扫描轨迹由多条平行的扫描线组成，每根扫描线均平行于平行四边形光斑中的两条平行的光斑边缘线，且相邻两根扫描线之间的间距等于平行四边形光斑的上述两条平行的光斑边缘线的间距；且每根扫描线均有多个扫描点位组成，同一根扫描线上相邻的两个扫描点位之间的间距等于平行四边形光斑上另外的两条平行的光斑边缘线的间距；所述支撑结构包括一个圆弧导轨，所述样品台位于所述圆弧导轨的中心处；所述样品台能够相对所述圆弧导轨在三个相互垂直的运动轴上运动，以使所述基频光扫描所述待检测样品的表面；所述圆弧导轨上滑动装配有入射臂和出射臂，所述激光器、起偏器、光束整形模块和第一物镜均设置在所述入射臂上，所述出射光路系统设置在所述出射臂上。

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