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龙图腾网恭喜中国科学院微电子研究所申请的专利一种版图获取方法及装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112257701B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011155565.9，技术领域涉及：G06V10/10；该发明授权一种版图获取方法及装置是由马乐;韦亚一;张利斌设计研发完成，并于2020-10-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种版图获取方法及装置在说明书摘要公布了：本申请实施例公开了一种版图获取方法及装置，在获取利用扫描电镜对刻蚀图形进行扫描得到的初始图像后，由于初始图像具有刻蚀图形的特征，可以利用初始图像进行刻蚀图形的版图的预测，具体的，可以对初始图像进行轮廓提取，得到刻蚀图形的轮廓信息，初始图像可以具有用来表征刻蚀图形尺寸的标尺，这样利用刻蚀图形的轮廓信息和初始图像的标尺，可以生成刻蚀图形对应的具有尺寸和图形轮廓特征的预测版图，生成的预测版图能够准确体现刻蚀图形的实际特性，准确的预测版图利于对刻蚀图形的分析，或者进一步可以将生成的预测版图与实际的原始版图进行比较，从而对刻蚀过程进行分析。

本发明授权一种版图获取方法及装置在权利要求书中公布了：1.一种版图获取方法，其特征在于，所述方法包括：获取利用扫描电镜对刻蚀图形进行扫描得到的初始图像，所述刻蚀图形为在待刻蚀膜层中经过光刻和刻蚀得到的图形，所述初始图像的颜色用于体现所述待刻蚀膜层的形态；对所述初始图像进行轮廓提取，得到所述刻蚀图形的轮廓信息，所述刻蚀图形为所述初始图像中具有预设颜色的图形，所述刻蚀图形为对金属层进行刻蚀得到的刻蚀图形；利用所述轮廓信息和所述初始图像的标尺，生成所述刻蚀图形对应的预测版图，所述预测版图具有尺寸和图形轮廓特征；对所述预测版图进行仿真，以进行电路预测；所述对所述初始图像进行轮廓提取，得到所述刻蚀图形的轮廓信息，包括：对所述初始图像进行灰度化处理，得到灰度图像；对所述灰度图像进行中值滤波；对所述灰度图像进行二值化处理，得到二值图像；对所述二值图像进行轮廓提取，得到所述刻蚀图形的轮廓信息；所述对所述二值图像进行轮廓提取，得到所述刻蚀图形的轮廓信息，包括：对所述二值图像进行轮廓提取，得到所述二值图像中的轮廓；在所述二值图像的轮廓中，去除所述二值图像中区域面积小于面积阈值的区域的轮廓，得到所述刻蚀图形的轮廓信息。

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