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摘要：本实用新型涉及微机电系统技术领域，具体涉及一种MEMS谐振器。电极组件能够诱导谐振组件的谐振子产生振动，连接梁连接于相邻的谐振子之间，通过第一间隙和第二间隙使电极组件和谐振子、电极组件和连接梁实现隔离，避免电极组件和谐振子、电极组件和连接梁之间的电信号干扰。通过第二间隙的两倾斜段和一平直段在第一间隙和第二间隙之间形成渐变间隙，在第一间隙和第二间隙的连接处，通过倾斜段进行过渡，这样的设计能够降低在连接处形成硅桥残留的概率，进而提高刻蚀的均匀性，提高器件加工性能，减少加工不良。
主权项：1.一种MEMS谐振器，其特征在于，包括：电极组件；谐振组件，所述谐振组件包括谐振子和连接梁，所述连接梁连接于相邻的谐振子之间；其中，所述电极组件与所述谐振子之间间隔设置形成第一间隙，所述电极组件与所述连接梁之间间隔设置形成和所述第一间隙连通的第二间隙，所述第二间隙包括一平直段和两倾斜段，一所述平直段位于两所述倾斜段之间，所述倾斜段位于所述平直段和所述第一间隙之间，所述倾斜段的宽度从所述第一间隙向所述平直段的方向上逐渐增加，所述平直段的宽度大于所述第二间隙的宽度。
权利要求：
百度查询： 麦斯塔微电子(深圳)有限公司 一种MEMS谐振器
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