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摘要：本申请包括一种传输线、使用该传输线的等离子体工艺供应系统及等离子体工艺系统，其中，传输线包括呈管状设置的绝缘体，绝缘体由具有导热性且具有电绝缘性的材料制成；电外导体，排列在绝缘体的外层；电内导体，在绝缘体内侧设置；电内导体和电外导体均由具有导电性的材料制成，电内导体和电外导体可以使用相同或不同的材料。由此，可以实现等离子体工艺系统中的负载阻抗质量很少增加、不增加甚至降低，并且，这种效果是无需额外的阻尼措施例如有损电阻即可实现的能够有效提高等离子体工艺系统的使用效率。
主权项：1.一种传输线，其特征在于，包括：呈管状设置的绝缘体2，所述绝缘体2由具有导热性且具有电绝缘性的材料制成，电外导体3，设置于所述绝缘体2外侧，电内导体4，设置于所述绝缘体2内侧，所述电内导体4和所述电外导体3均由具有导电性的材料制成，且所述电内导体4和所述电外导体3可以使用相同或不同的材料。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 通快许廷格两合公司 一种传输线、使用该传输线的等离子体工艺供应系统及等离子体工艺系统
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