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摘要：本实用新型公开了一种适用于晶圆方片的预对准装置，它用于对晶圆方片进行预对准，它包括底座、固定块、活动块、托片装置和驱动机构；所述晶圆方片上具有至少两个相对设置的转角部，所述底座上具有定位中心，所述固定块连接在所述底座上，所述活动块滑动连接在所述底座上，所述定位中心位于所述固定块和所述活动块之间，所述托片装置中包括以所述定位中心为中心由内向外依次设置的至少两个托片机构，所述托片机构连接在所述底座上并用于托住晶圆方片，并且越靠近所述定位中心的所述托片机构用于托住规格越小的晶圆方片，越外侧的所述托片机构用于托住规格越大的晶圆方片。本实用新型能够对晶圆方片进行预对准。
主权项：1.一种适用于晶圆方片的预对准装置，其特征在于，它用于对晶圆方片1进行预对准，它包括底座2、固定块3、活动块4、托片装置和驱动机构5；所述晶圆方片1上具有至少两个相对设置的转角部6；所述底座2上具有定位中心7；所述固定块3连接在所述底座2上，所述活动块4滑动连接在所述底座2上，所述定位中心7位于所述固定块3和所述活动块4之间；所述托片装置中包括以所述定位中心7为中心由内向外依次设置的至少两个托片机构8，所述托片机构8连接在所述底座2上并用于托住晶圆方片1，并且越靠近所述定位中心7的所述托片机构8用于托住规格越小的晶圆方片1，越外侧的所述托片机构8用于托住规格越大的晶圆方片1；所述固定块3上设有与所述托片机构8一一对应的固定导正部9，所述固定导正部9与所述晶圆方片1上的转角部6形状适配；所述活动块4上设有与所述托片机构8一一对应的活动导正部10，所述活动导正部10与所述晶圆方片1上的转角部6形状适配；所述驱动机构5与所述活动块4相连并用于驱动所述活动块4朝向或背向所述固定块3移动，当所述活动块4朝向所述固定块3移动到对准位置时，所述托片机构8上的晶圆方片1的一个转角部6与所述活动块4上对应的所述活动导正部10抵靠并且所述晶圆方片1上的相对的另一个转角部6与所述固定块3上对应的所述固定导正部9抵靠进而导正所述晶圆方片1。
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百度查询： 江苏维普光电科技有限公司 适用于晶圆方片的预对准装置
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