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摘要:本实用新型公开了一种MEMS针卡微悬臂模块定位结构,包括探针卡母板和MEMS微悬臂探针模块,所述探针卡母板上设有插接件,所述MEMS微悬臂探针模块上开设有插孔,且插接件与插孔配合;所述探针卡母板上设有顶出机构。通过设置能够相互配合的大小两处插接件与插孔,使得MEMS微悬臂探针模块安装在探针卡母板的过程中,能够得到快速的定位。并通过辅助定位块与辅助定位槽的配合,使得二者的安装更加稳固。通过设置顶出结构,在锡球融化,进行MEMS微悬臂探针模块更换时,可以更快速的完成该模块的拆卸。这样的操作方式能够良好的避免拆卸时对于探针卡母板造成的损伤。
主权项:1.一种MEMS针卡微悬臂模块定位结构,其特征在于:包括探针卡母板1和MEMS微悬臂探针模块2,所述探针卡母板1上设有插接件3,所述MEMS微悬臂探针模块2上开设有插孔4,且插接件3与插孔4配合;所述探针卡母板1上设有顶出机构。
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百度查询: 沈阳圣仁电子科技有限公司 一种MEMS针卡微悬臂模块定位结构
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