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摘要：本发明涉及一种能够进行晶片的缺口对准及检查晶片的正面、背面、包括斜面和顶点的边缘区域而不损坏晶片的正面或背面的晶片的边缘区域检查装置及检查方法，所述装置设置有：晶片装载和卸载部，其在支撑件上装载和卸载所要检查的晶片；真空吸附部，其具备将通过上述晶片装载和卸载部而位于上述支撑件上的晶片以非接触状态真空吸附的真空吸盘；旋转部，其为了连续地检查上述晶片的边缘区域而使真空吸附了晶片的真空吸盘旋转；边缘检查用线扫描部，其设置于与上述晶片相同的平面上并检查通过上述旋转部而旋转的晶片的边缘区域和缺口位置；以及控制部，其控制上述真空吸盘的位置，因而能够执行边缘区域和缺口位置的检查而不损坏晶片的正面或背面。

主权项：1.一种晶片的边缘区域检查装置，检查晶片的缺口对准及晶片的正面、背面、包括斜面和顶点的边缘区域，所述晶片的边缘区域检查装置的特征在于，包括：晶片装载和卸载部，其在支撑件上装载和卸载所要检查的晶片；真空吸附部，其具备将通过上述晶片装载和卸载部而位于上述支撑件上的晶片以非接触状态真空吸附的真空吸盘；旋转部，其为了连续地检查上述晶片的边缘区域而使真空吸附了晶片的真空吸盘旋转；晶片安装位置检查部，其具备用于识别上述晶片的安装位置的相机；边缘检查用线扫描部，其设置于与上述晶片相同的平面上并检查通过上述旋转部而旋转的晶片的边缘区域和缺口位置；以及，控制部，其控制上述真空吸盘的位置，在上述晶片安装位置检查部设置有形成为字形的切口部以便上述晶片的一部分插入，在上述切口部的上部安装有用于拍摄上述晶片的安装位置的上述相机，在上述边缘检查用线扫描部设置有供上述晶片的边缘区域部分插入且执行用于检查边缘区域的发光和受光的光学功能的插入部，在上述插入部的上部和下部设置有发光系统和受光系统，上述支撑件以120度的间隔设置于上板上，在上述上板设置有用于上述真空吸盘移动的开口部，上述开口部形成为椭圆形以使上述真空吸盘沿X方向和Y方向的移动自如，在上述切口部识别出上述晶片的位置之后，上述控制部使真空吸附了上述晶片的真空吸盘在上述椭圆形开口部沿X方向移动并保持插入到上述插入部中的状态，且自动连续执行上述晶片的缺口对准及晶片的正面、背面、包括斜面和顶点的边缘区域检查。

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百度查询： 耐瑟思远株式会社 晶片的边缘区域检查装置及检查方法