龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
摘要：提供一种半导体检查装置、半导体检查系统以及半导体检查方法，通过以能够收纳到实验室内的大小且以足够的强度得到放大像，能够按每个局部对半导体内部的微细结构进行检查。一种使用了放大的X射线像的半导体检查装置，具备：X射线照射部，其由微焦点且高输出的X射线源120和将放射出的X射线朝向半导体的试样进行聚光照射的会聚镜130构成；试样保持部，其对试样进行保持；反射镜型X射线透镜部150，其对透射过试样的X射线进行成像；以及摄像部190，其取得所成像的X射线像，构成会聚镜130和反射镜型X射线透镜部150的各镜具有形成有对于特定波长的X射线具有高反射率的多层膜的反射面。
主权项：1.一种半导体检查装置，是使用了放大的X射线像的半导体检查装置，其特征在于，具备：X射线照射部，其由微焦点且高输出的X射线源和将放射出的X射线朝向半导体的试样进行聚光照射的会聚镜构成；试样保持部，其对所述试样进行保持；反射镜型X射线透镜部，其对透射过所述试样的X射线进行成像；以及摄像部，其取得所述成像的X射线像，构成所述会聚镜和反射镜型X射线透镜部的各镜具有形成有对于特定波长的X射线具有高反射率的多层膜的反射面。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社理学 半导体检查装置、半导体检查系统以及半导体检查方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号