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减压镀覆处理用的镀覆装置以及减压镀覆处理方法 

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摘要:提供在对微小通孔或沟槽的镀覆处理中,能够极力抑制气泡等的影响,能够利用一台镀覆装置对应多个镀覆处理的镀覆处理技术。本发明的减压镀覆处理用的镀覆装置具备:镀槽,其具备具有防止镀液泄漏的密封体的开口部、镀液的液体供给部以及液体排出部;镀槽的转动机构;用于对槽内空间进行减压的槽内减压机构;被镀物背面按压罩,其具备用于对载置于开口部的被镀物的边缘进行按压、并且对形成在被镀物背面侧的背面空间进行减压的背面减压机构,槽内减压机构具备:在使镀槽转动而使被镀物成为倾斜姿势时设置在位于倾斜姿势的上侧的镀槽内壁上的减压用兜、与减压用兜的排气口连接的减压用管、以及用于排出残留在减压用管中的镀液的液体排出用管,减压用管从减压用兜朝向镀槽中央方向延伸设置。

主权项:1.一种减压镀覆处理用的镀覆装置,特征在于,具备:镀槽,其具备:具有在载置有被镀物时防止镀液泄漏的密封体的开口部、供给镀液的液体供给部、以及排出镀液的液体排出部;转动机构,其用于使镀槽本身转动;槽内减压机构,其用于对由载置于开口部的被镀物的镀覆对象面与镀槽形成的槽内空间进行减压;被镀物背面按压罩,其具备用于对载置于开口部的被镀物的边缘进行按压、并且对形成在镀覆对象面的背面即被镀物背面侧的背面空间进行减压的背面减压机构,槽内减压机构具备:在使镀槽转动而使被镀物成为倾斜姿势时设置在位于倾斜姿势的上侧的镀槽内壁上的减压用兜、与减压用兜的排气口连接的减压用管、以及用于排出残留在减压用管中的镀液的液体排出用管,减压用管从减压用兜朝向镀槽中央方向延伸设置。

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百度查询: 三友半导体镀金株式会社 减压镀覆处理用的镀覆装置以及减压镀覆处理方法

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