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摘要：本发明提供了一种蒸镀机对位系统，所述蒸镀机对位系统包括：由腔体壁围成的腔室，所述腔室内设置有顶板，所述顶板将腔室分为两部分，顶板上方腔室为大气区，顶板下方腔室为真空腔体；位于大气区的振动隔离系统，用于隔离外界扰动；位于大气区的六轴平台，用于控制放置在其上的待蒸镀基板的位置和姿态；对位装置，所述对位装置包括设置在真空腔体内的静电吸盘和掩模板托盘；机器视觉系统，所述机器视觉系统设置在掩模板托盘下方的真空腔体内，用于对待蒸镀基板和掩模板的对位结果进行实时检测。使用本发明所述的对位系统，可以实现基板与掩模板之间0.1μm精度的对位，满足RealRGB结构MicroOLED器件制备需求。
主权项：1.一种蒸镀机对位系统，其特征在于，包括：由腔体壁围成的腔室，所述腔室内设置有顶板，所述顶板将腔室分为两部分，顶板上方腔室为大气区，顶板下方腔室为真空腔体；位于大气区的振动隔离系统，所述振动隔离系统包括分别设置在顶板上表面两端的两个主动隔离器，用于隔离外界扰动；位于大气区的六轴平台，所述六轴平台从下至上依次包括：第一分离式基座、电机及第二分离式基座，用于控制放置在其上的待蒸镀基板的位置和姿态；对位装置，所述对位装置包括设置在真空腔体内的静电吸盘和掩模板托盘，所述静电吸盘用于在对位过程中固定待蒸镀基板，所述掩模板托盘用于在对位过程中放置掩模板；机器视觉系统，所述机器视觉系统设置在掩模板托盘下方的真空腔体内，用于对待蒸镀基板和掩模板的对位结果进行实时检测。
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百度查询： 安徽熙泰智能科技有限公司 一种蒸镀机对位系统
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