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摘要：本实用新型涉及一种用于镀膜的独立自传系统、蒸镀设备及溅射镀膜设备，该独立自传系统包括框架体，框架体的第一相对框内侧壁设有多个第一通孔，框架体的第二相对框内侧壁设有多个第二通孔，第一通孔和第二通孔相对设置；框架体的至少部分区域设有腔室，与第一通孔联通，且腔室内设有传动机构；第一自转轴件，设于第一通孔内，且与传动机构电连接；第二自传轴件，设于第二通孔内；至少一个待镀工件，待镀工件通过第一自转轴件和第二自传轴件固定于框架体中部区域；驱动装置设置在框架体内壁或内部，且与传动机构电连接，驱动待镀工件做自转运动，该系统结构简单，适用于多种柱状镀膜需求，通用于多种溅射设备，成本低，可拆卸且镀膜效率高。
主权项：1.一种用于镀膜的独立自传系统，其特征在于，包括：框架体，所述框架体包括中部区域和环绕所述中部区域的外框区域，所述外框区域包括第一相对框和第二相对框，所述第一相对框的内侧壁设有多个第一通孔和多个第二通孔，所述第一通孔和所述第二通孔相对设置；所述外框区域的至少部分区域设有腔室，所述腔室与所述第一通孔联通，且所述腔室内设有传动机构；至少一个第一自转轴件，所述第一自转轴件包括第一端和第二端，所述第一端与所述第一通孔尺寸相配适，所述第一端设于所述第一通孔内，且与所述传动机构电连接；至少一个第二自传轴件，所述第二自传轴件包括第三端和第四端，所述第三端与所述第二通孔尺寸相配适，所述第三端固定设于所述第二通孔内；至少一个待镀工件，所述待镀工件置于所述中部区域，所述待镀工件的一端与所述第二端可拆卸连接设置，所述待镀工件的另一端与所述第四端可拆卸连接设置；驱动装置，所述驱动装置设于所述第二相对框的内侧壁，或所述第二相对框内设有容纳腔，所述驱动装置设于所述容纳腔内，且临近所述第一通孔设置，所述驱动装置与所述传动机构电连接，所述驱动装置被配置为，驱动所述传动机构带动所述第二自传轴件和所述第二自传轴件旋转，进而驱动所述待镀工件绕所述待镀工件中心轴做自转运动。
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