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一种基于菱形高斯窗函数的四波横向剪切干涉波前复原方法 

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摘要:本发明涉及光学测量技术领域,尤其涉及一种基于菱形高斯窗函数的四波横向剪切干涉相位复原方法。首先,对四波横向剪切干涉图测量图进行二维离散傅里叶变换,再利用设计的菱形高斯窗函数对变换的频域信息进行滤波,以获取x和y方向的正负一级频谱;然后,将两个方向的正或负一级频谱移至零级频谱中心,再依次通过二维离散傅里叶逆变换、背景光去除以及反正切运算等即可得出x和y方向的差分相位;最后,利用傅里叶基底函数对x和y方向的差分相位进行最小二乘拟合,并将拟合得到的傅里叶系数重新代入基底函数,即可计算得出被测波前的相位复原结果。与采用其他常用的滤波窗函数相位提取时得到的重建PV误差进行对比分析表明,本发明能够去除对测量结果影响较大的离群点,从而具有较高的相位复原精度和对比度。

主权项:1.一种基于菱形高斯窗函数的四波横向剪切干涉相位复原方法,其特征在于包括以下步骤:步骤一、采用四波横向剪切干涉测量系统采集样品的载频干涉图,再利用二维离散傅里叶变换算法将其转换为频谱图,其中,零级频谱在中心区域,与之相邻的四个次级频谱分别为x和y方向的正负一级频谱;步骤二、为了消除零级、二级及其它高级次频谱对相位重构结果的串扰影响,结合菱形窗口与高斯函数对获取的频谱图进行滤波处理,得到仅包含x和y方向正或负一级频谱的频谱图;步骤三、将两个方向的正或负一级频谱移至频谱图的中心后,利用二维离散傅里叶逆变换得到x和y方向的差分相位;步骤四、取出样品,采集背景光强的四波横向剪切干涉图,并在相同的像元大小和数量等条件下,利用上述方法获取背景光强在x和y方向的差分相位;步骤五、将样品测量对应的两方向差分相位减去背景光强测量对应的差分相位,则得到去除背景光的x和y方向差分相位;步骤六、利用傅里叶基底函数对去除背景光的x和y方向差分相位进行最小二乘拟合,并将拟合获取的傅里叶系数重新代入基底函数,即可计算得出被测波前的相位复原结果。

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百度查询: 湖北工业大学 一种基于菱形高斯窗函数的四波横向剪切干涉波前复原方法

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