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摘要：本发明公开了一种基于激光干涉仪的棱镜平面度校准装置及校准方法，其包括激光干涉仪机构，激光干涉仪机构的下方依次设有分光镜模组、标准平晶和待校准棱镜，标准平晶连接有第三微调组件，待校准棱镜的下端设有三个升降微调组件，升降微调组件用于调节待校准棱镜的水平度，三个所述升降微调组件呈等腰三角形分布，位于等腰三角形的顶角上的升降微调组件到等腰三角形的底边的距离为bmm，位于等腰三角形的底角上的一个升降微调组件到等腰三角形的腰的距离为amm，其中，ba。与现有技术相比，本发明中激光干涉条纹清晰度调节分成粗调和细调，能够快速提高激光干涉条纹清晰度；且在粗调和细调之间加入光强调节，进一步加快了调节速度。
主权项：1.一种基于激光干涉仪的棱镜平面度校准装置，其特征在于，包括激光干涉仪机构，所述激光干涉仪机构的下方依次设有分光镜模组、标准平晶和待校准棱镜，所述标准平晶连接有第三微调组件，所述待校准棱镜的下端设有三个升降微调组件，所述升降微调组件用于调节待校准棱镜的水平度，三个所述升降微调组件呈等腰三角形分布，位于等腰三角形的顶角上的升降微调组件到等腰三角形的底边的距离为bmm，位于等腰三角形的底角上的一个升降微调组件到等腰三角形的腰的距离为amm，其中，ba。
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百度查询： 湖南省计量检测研究院 一种基于激光干涉仪的棱镜平面度校准装置及校准方法
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