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摘要：本发明公开了一种细晶高强度的氧化铟钛钽铈靶材及其制备方法。制备方法包括以下步骤：（1）称取氧化铟粉末、氧化钛粉末、五氧化二钽粉末、氧化铈粉末；（2）将称取的粉末与分散剂、粘结剂混合分散，经过湿法研磨得到混合浆料；（3）以混合浆料为原料进行喷雾造粒，得到混合氧化物粉末；（4）进行压制成型，得到靶坯；（5）将靶坯依次进行脱脂烧结和两段式常压烧结，得氧化铟钛钽铈靶材，所述两段式常压烧结包括：升温至1400~1500℃，保温5~10h；降温至1320~1370℃，保温35~50h。本申请的靶材微观结构变得更加均匀，晶粒尺寸显著细化，显著提高了抗弯强度。
主权项：1.一种细晶高强度氧化铟钛钽铈靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：（1）按质量比为95.5~97.5：0.3~2.0：0.3~2.0：0.3~1.5分别称取氧化铟粉末、氧化钛粉末、五氧化二钽粉末、氧化铈粉末；（2）将步骤（1）称取的粉末与分散剂、粘结剂混合分散，经过湿法研磨得到混合浆料；（3）以混合浆料为原料进行喷雾造粒，得到混合氧化物粉末；（4）以混合氧化物粉末为原料进行压制成型，得到靶坯；（5）将靶坯依次进行脱脂烧结和两段式常压烧结，得氧化铟钛钽铈靶材，所述两段式常压烧结包括：升温至1400~1500℃，保温5~10h；降温至1320~1370℃，保温35~50h。
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百度查询： 先导薄膜材料(安徽)有限公司 一种细晶高强度氧化铟钛钽铈靶材的制备方法
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