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摘要：本发明属于靶材制备领域，公开了一种晶粒尺寸可控的氧化铟钛钽铈靶材及其制备方法。包括以下步骤：按质量比称取粉末；将称取的粉末与分散剂、粘结剂混合分散，经过湿法研磨得到混合浆料；以混合浆料为原料进行喷雾造粒，得到混合氧化物粉末；以混合氧化物粉末为原料进行压制成型，得到靶坯；将靶坯依次进行脱脂热处理、烧结热处理，得氧化铟钛钽铈靶材，所述烧结热处理的最高烧结温度为1350~1500℃、最高温保温时间为15~30h。制备得到的氧化铟钛钽铈靶材，相对密度高、成分分布均匀性好。制备方法可以同时调控靶材晶粒尺寸，主动适应不同客户对靶材的参数需求，极大扩展了氧化铟钛钽铈靶材的适用性。
主权项：1.一种氧化铟钛钽铈靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：（1）按质量比为95.5~97.5：0.3~2.0：0.3~2.0：0.3~1.5分别称取氧化铟粉末、氧化钛粉末、五氧化二钽粉末、氧化铈粉末；（2）将步骤（1）称取的氧化物粉末与分散剂、粘结剂混合分散，经过湿法研磨得到混合浆料；（3）以混合浆料为原料进行喷雾造粒，得到混合氧化物粉末；（4）以混合氧化物粉末为原料进行压制成型，得到靶坯；（5）将靶坯依次进行脱脂热处理、烧结热处理，得氧化铟钛钽铈靶材，所述烧结热处理的最高烧结温度为1350~1500℃、最高温保温时间为15~30h。
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百度查询： 先导薄膜材料(安徽)有限公司 一种氧化铟钛钽铈靶材及其制备方法
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