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摘要：本实用新型涉及一种液驱增压泵，用于在微射流激光加工中提供高压液体，包括：支撑框架以及安装在支撑框架内的液压系统、电磁换向阀、液驱增压器、缓冲蓄能器和调压系统，其中，液压系统通过电磁换向阀与液驱增压器连接；液驱增压器的输入端作为液体入口，输出端与缓冲蓄能器的输入端连接；缓冲蓄能器的输出端与调压系统的输入端连接；调压系统的输出端作为液体出口。该液驱增压泵实现了液体的增压，压力实时可调且增压后的液体稳定性高，同时增压过程中不会混杂其他杂质，也不会因为各环节增压使得液体中出现气泡，保证了液体的纯度。
主权项：1.一种液驱增压泵，其特征在于，用于在微射流激光加工中提供高压液体，包括：支撑框架1以及安装在所述支撑框架1内的液压系统2、电磁换向阀3、液驱增压器4、缓冲蓄能器5和调压系统6，其中，所述液压系统2通过所述电磁换向阀3与所述液驱增压器4连接；所述液驱增压器4的输入端作为液体入口，输出端与所述缓冲蓄能器5的输入端连接；所述缓冲蓄能器5的输出端与所述调压系统6的输入端连接；所述调压系统6的输出端作为液体出口。
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百度查询： 西安晟光硅研半导体科技有限公司 一种液驱增压泵
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