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摘要：一种成膜装置，其将包含微粒的雾供给至基板，在基板的表面形成包含微粒的膜，该成膜装置具备：覆盖基板的表面的至少一部分的导风部件；以及将雾供给至基板的表面与导风部件之间的空间的雾供给部。雾供给部包括使雾带正电或带负电的带电赋予部；以及将通过带电赋予部而带电的雾向空间内喷出的雾喷出部。导风部件具有与基板的表面对置的壁面，包括使壁面产生与通过带电赋予部带电的雾相同符号的电位的静电场发生部。
主权项：1.一种成膜装置，其是将包含微粒的雾供给至基板，在所述基板的表面形成包含所述微粒的膜的成膜装置，其中，所述成膜装置具备：导风部件，其覆盖所述基板的表面的至少一部分；雾供给部，其将所述雾供给至所述基板的表面与所述导风部件之间的空间；以及输送所述基板的输送部，所述雾供给部包括：带电赋予部，其使所述雾带正电或带负电；以及雾喷出部，其将通过所述带电赋予部而带电的所述雾向所述空间内喷出，所述导风部件具有与所述基板的表面对置的壁面，并具备静电场发生部，该静电场发生部使所述壁面产生对通过所述带电赋予部而带电的所述雾施加斥力的电位，所述静电场发生部具有使所述壁面产生对所述雾施加斥力的电位的第1电极、以及使所述输送部产生对所述雾施加引力的电位的第2电极，所述静电场发生部在所述第1电极与所述第2电极之间施加以规定的振幅随时间发生电压变化的交流电压，将所产生的交流电场施加至在所述基板的表面形成的液膜。
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百度查询： 株式会社尼康 雾成膜装置和雾成膜方法
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