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摘要：本发明公开了一种光学元件表面非接触式洁净监测及处理系统，包括：光传输管道或箱体；光学元件支撑单元，其设置在光传输管道或箱体的底部；光学元件倾斜设置在光学元件支撑单元上；照明单元，其设置在光学元件支撑单元上；风刀单元，其设置在光学元件支撑单元上，其风刀单元位于光学元件的上边缘；相机监测单元，其设置在光传输管道或箱体的上方，且相机监测单元的照射镜头与光学元件的表面垂直。本发明的光学元件表面非接触式洁净监测及处理系统，可以实现对光学元件表面颗粒污染物的实时拍照采样，通过对污染物的粒径及分布信息进行统计，记录表面颗粒污染物的变化情况；该系统采用风刀单元可以实现对光学元件表面颗粒污染物的有效去除。

主权项：1.一种光学元件表面非接触式洁净监测及处理系统，其特征在于，包括：光传输管道或箱体；光学元件支撑单元，其设置在光传输管道或箱体的底部；光学元件倾斜设置在光学元件支撑单元上；照明单元，其设置在光学元件支撑单元上，且所述照明单元位于光学元件的两侧；风刀单元，其设置在光学元件支撑单元上，其所述风刀单元位于光学元件的上边缘；相机监测单元，其设置在光传输管道或箱体的上方，且所述相机监测单元的照射镜头与光学元件的表面垂直；所述光学元件支撑单元包括：斜座支撑架，其一水平面连接在光传输管道或箱体的底部；安装板，其连接在斜座支撑架的斜面架上；光学元件安装板，其通过连接块连接在安装板上；所述光学元件安装在光学元件安装板上；所述照明单元包括：光源夹持件，其连接在安装板的侧边；光源，其连接在光源夹持件上，且所述光源位于光学元件的两侧；所述光源为LED光源；所述光学元件为圆形光学元件，则光源为与圆形光学元件的边缘相匹配的弧形光源；所述光学元件为方形光学元件，则光源为与方形光学元件的边缘相匹配的条形光源；所述风刀单元包括：风刀夹持件，其连接在安装板的上边缘；风刀，其连接在风刀夹持件上，且所述风刀的出风口位于光学元件的上方，并使风刀的出风平面可吹扫光学元件的上表面；压缩气瓶，其设置在光传输管道或箱体的外部，所述压缩气瓶通过气体管线与风刀连接；其中，所述光学元件为圆形光学元件；所述风刀为弧形风刀；所述风刀的刀口尺寸为100μm；所述光学元件表面非接触式洁净监测及处理系统还包括：离子棒，其设置在风刀单元和光学元件的上边缘之间；静电吸附电极，其包括平行设置的正电极棒和负电极棒，所述正电极棒和负电极棒通过电极支撑架安装在光传输管道或箱体的底部，且正电极棒位于光学元件的下边缘的上方，负电极棒位于光学元件的下边缘的下方；所述光传输管道或箱体的底部设置有照明单元、风刀单元、离子棒和静电吸附电极的走线航插；所述光学元件的倾斜角度为45度。

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百度查询： 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 光学元件表面非接触式洁净监测及处理系统