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摘要:本发明实施例提供一种预测机台加工事件发生的方法,借以决定是否启动虚拟量测。在此方法的建模阶段中,使用多组建模数据并根据至少一个分类演算法来建立至少一个分类模型,其中每一个分类模型包含多个决策树。然后,使用此些决策树的机率来建立至少一个信心指标模型;使用建模数据并根据一统计距离演算法来建立至少一个相似度模型。在此方法的推估阶段中,输入一工件的一组制程数据至每一个分类模型、每一个信心指标型和每一个相似度模型中,以即时并准确地决定是否启动虚拟量测,而避免使用者产生误判。
主权项:1.一种预测机台加工事件发生的方法,其特征在于,包含:获得多组历史制程数据,其中该些组历史制程数据是在一机台处理多个历史工件时所使用或产生,该些组历史制程数据是以一对一的方式对应至该些历史工件;获得多个历史加工事件指示值,用以指出该机台在处理每一该些历史工件时是否发生一加工事件,其中该些历史加工事件指示值是以一对一的方式对应至该些组历史制程数据,该些历史加工事件指示值和其对应的历史制程数据分别组成多组建模数据;进行一建模步骤,包含:使用该些组建模数据并根据一分类演算法来建立一分类模型,其中该分类模型包含多个决策树;以及使用该些决策树的机率来建立一信心指标模型;以及进行一推估步骤,包含:获得至少一组制程数据,其中该至少一组制程数据是该机台处理至少一工件时所使用或产生;输入每一该至少一组制程数据至该分类模型,以获得至少一事件预测值,用以指出该机台在处理该至少一工件时是否发生该加工事件;以及使用该信心指标模型来计算出每一该至少一事件预测值的一信心指标值,用以指出每一该事件预测值的可靠度。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 郑芳田 预测机台加工事件发生的方法与其虚拟量测应用
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