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弹性波装置以及其制造方法 

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摘要:弹性波装置(10)具备:支承构件(20),在一个主面具有能量封闭层(例如,空洞部(21));压电层(30),设置于支承构件(20)的上述一个主面以使得覆盖上述能量封闭层;功能电极(32),设置于压电层(30)的至少一个主面,从压电层(30)的厚度方向观察,至少一部分与上述能量封闭层重叠;和电介质膜(40),设置于压电层(30)的与上述能量封闭层相反侧的主面。压电层(30)包括设置有功能电极(32)的功能电极部(31A)和功能电极部以外的部分(31B)。电介质膜(40)至少设置于功能电极部(31A)。设置于功能电极部(31A)的电介质膜(40)的至少一部分的厚度大于设置于功能电极部以外的部分(31B)的电介质膜(40)的厚度。

主权项:1.一种弹性波装置,具备:支承构件,在一个主面具有能量封闭层;压电层,设置于所述支承构件的所述一个主面,以使得覆盖所述能量封闭层;功能电极,设置于所述压电层的至少一个主面,从所述压电层的厚度方向观察,至少一部分与所述能量封闭层重叠;和电介质膜,设置于所述压电层的与所述能量封闭层相反侧的主面,所述压电层包括设置有所述功能电极的功能电极部和所述功能电极部以外的部分,所述电介质膜至少设置于所述功能电极部,设置于所述功能电极部的所述电介质膜的至少一部分的厚度大于设置于所述功能电极部以外的部分的所述电介质膜的厚度。

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百度查询: 株式会社村田制作所 弹性波装置以及其制造方法

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