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摘要：本发明公开了一种真空法从氧化铟锡废靶中分离氧化铟和氧化锡的方法，涉及资源回收利用技术领域，包括：取氧化铟锡废靶原料，向所述氧化铟锡废靶原料中加入铟后，于真空条件下进行加热并保温；待保温结束后，铟的低价氧化物挥发进入挥发物中，获得氧化铟；氧化锡残留在冷凝物中，获得氧化锡。本发明依据氧化铟在铟熔体中加热下可生成易挥发的低价氧化物（In2O），生成的低价氧化物可挥发至冷凝区域冷凝，从而实现氧化铟和氧化锡的分离，实现了氧化铟锡废靶材料的资源回收利用。
主权项：1.一种真空法从氧化铟锡废靶中分离氧化铟和氧化锡的方法，其特征在于：包括如下步骤：（1）取氧化铟锡废靶原料，向所述氧化铟锡废靶原料中加入铟后，于真空条件下进行加热并保温；（2）待保温结束后，铟的低价氧化物挥发进入挥发物中，获得氧化铟；氧化锡残留在冷凝物中，获得氧化锡。
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百度查询： 昆明理工大学 一种真空法从氧化铟锡废靶中分离氧化铟和氧化锡的方法
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